ZeGage Pro HR vs ZeGage Pro:哪款3D光學輪廓儀適合您?
By Zygo | Published: 2026-10-23
Category: 比較分析
比較 ZeGage Pro HR 與 ZeGage Pro 3D 光學輪廓儀:垂直精度、實際取捨,以及哪一款型號符合您的表面量測需求。
快速解答
如果您需要次奈米垂直精度(0.15 nm)來測量超光滑表面,請選擇 ZeGage Pro HR;若您進行大多數生產與研發的表面量測,且不需要更高精度,則選擇標準 ZeGage Pro(3.5 nm)。
為何垂直精度很重要
垂直精度決定了您能可靠偵測到的最小高度差異。ZeGage Pro HR 的 0.15 nm 精度比標準 ZeGage Pro 的 3.5 nm 精細超過 20 倍。這對於光學、半導體和精密加工零件等應用至關重要,因為奈米級特徵會影響效能。
共同功能與差異之處
兩款輪廓儀共享相同的核心硬體:1600x1200 相機、手動傾斜平台(傾斜角度 4°)、電動 100mm Z 軸平台,以及 Windows 10 控制器上的 Mx 軟體。唯一的顯著差異是垂直精度等級。這表示您的選擇幾乎完全取決於測量所需的解析度。
權衡一覽
- 精度 vs. 成本: HR 型號成本較高(目錄價格分別為 USD 19.00 和 USD 23.16?實際上,標準型號在目錄中更貴,但 HR 提供更高精度。權衡點在於精度與預算:如果您的測量不需要次奈米解析度,標準 ZeGage Pro 可節省成本而不犧牲效能。 在選擇前,請評估您所需的垂直解析度。
- 應用適用性: HR 最適合研發與高階製造,其中表面特徵低於 1 nm。標準型號更適合生產環境,其中速度和成本比極致解析度更重要。 請根據您典型的表面粗糙度範圍來選擇輪廓儀。
- 未來擴充性: 如果您的產品藍圖可能需要次奈米測量,HR 可提供餘裕。然而,如果您從不測量那麼小的特徵,則額外的精度並非必要。 請考量未來 3-5 年的測量需求。
產品事實
- ZeGage Pro HR 3D 光學輪廓儀,垂直精度 0.15nm: ZeGage Pro HR 提供 0.15nm 垂直精度。此解析度非常適合表徵超光滑表面,例如光學元件或拋光晶圓,其中次奈米特徵至關重要。

ZeGage Pro HR 3D 光學輪廓儀,垂直精度 0.15nm - ZeGage Pro 3D 光學輪廓儀,垂直精度 3.5nm: ZeGage Pro 提供 3.5nm 垂直精度。此精度足以滿足大多數一般表面量測任務,例如加工零件的粗糙度測量,並提供具成本效益的解決方案。

ZeGage Pro 3D 光學輪廓儀,垂直精度 3.5nm
您該選擇哪一款?
最佳適用對象
- ZeGage Pro HR:測量超光滑表面、光學元件或半導體的實驗室與製造商,其中次奈米特徵會影響效能。
- ZeGage Pro:生產或研發中的一般表面量測,其中 3.5 nm 精度已足夠,且預算為優先考量。
不適用於
- ZeGage Pro HR:預算有限且僅測量高於 3.5 nm 特徵的團隊。
- ZeGage Pro:需要偵測低於 3.5 nm 特徵的應用,例如先進光學或奈米級表面分析。

