Verifire HDX 雙軸支架安裝指南
By Zygo | Published: 2026-10-27
Category: 操作指南
了解如何安裝和對齊您的 Verifire HDX 干涉儀適用的 ZYGO 2 軸安裝夾具。逐步說明及應避免的常見錯誤。
快速解答
將 2‑軸安裝夾具安裝至 Verifire HDX 導軌上,然後固定光學元件,並調整兩個軸以達到精確對準。請依照下列步驟操作,以避免對位誤差與機械卡死。
正確的安裝夾具設定為何重要?
安裝夾具若對位不準會導致干涉儀光路傾斜或偏移,進而造成量測誤差。2‑軸安裝夾具可在導軌與光學元件之間提供穩定的介面,但前提是必須正確安裝。請特別注意夾具的方向與鎖緊順序,以免損壞導軌或夾具本身。
設定步驟
- 1. 準備導軌: 使用無絨布與異丙醇清潔導軌表面。確保無碎屑或舊潤滑油,以免影響夾具平穩貼合。 髒汙的導軌會導致夾具放置不平,進而引起對位漂移。
- 2. 將夾具安裝至導軌上: 滑動 2‑軸安裝夾具至導軌上所需位置。暫時不要鎖緊夾具螺絲,保持鬆動以便調整。 過早鎖緊會導致夾具卡死,無法進行最終定位。
- 3. 安裝光學元件: 將光學元件(如反射鏡或鏡頭座)使用適當螺絲安裝至夾具的介面板上。僅用手鎖緊,暫不使用工具。 過度鎖緊會使介面板變形,導致元件對位不準。
- 4. 調整第一個軸: 使用第一個軸(通常有標示)的調整螺絲設定初始傾斜角度。以參考光束或水平儀檢查對位。確認無誤後鎖緊該軸的鎖定螺絲。 常見錯誤:同時調整兩個軸。應一次只調整一個軸,以避免混淆。
- 5. 調整第二個軸: 對第二個軸重複相同的程序。進行小幅增量調整,每次轉動後檢查對位。 如果鎖緊後對位發生偏移,可能鎖定螺絲鎖得太緊——稍微鬆開一點。
- 6. 最終鎖緊與檢查: 兩個軸都對位完成後,以交叉對角方式鎖緊所有夾具螺絲,確保壓力均勻。再次檢查對位——如果偏移,鬆開並重複步驟 4‑5。 最終鎖緊可能造成微小偏移;務必在鎖緊後再次確認對位。
產品資訊
- 2‑軸安裝夾具: ZYGO 2‑軸安裝夾具可與導軌對接,為 ZYGO 品牌下 Verifire HDX 系列的安裝配件。此夾具專為 Verifire HDX 導軌設計,可為光學元件提供穩固且可重複的安裝點。

2‑軸安裝夾具
