12吋PMR套件安裝於大孔徑系統
By Zygo | Published: 2026-10-26
Category: 操作指南
了解如何安裝適用於大口徑系統的Zygo 12" 相位調製插座(PMR)套件(含電源供應器),包括關鍵步驟和常見錯誤。
快速解答
安裝 Zygo 12" PMR 套件:首先確認系統相容性,然後安裝插座、連接電源,並執行相位校正檢查。
為何專用 12" PMR 套件很重要
相位調變插座 (PMR) 是大型孔徑干涉儀與受測光學元件之間的介面。12" 尺寸專為具有 12 英吋清晰孔徑的系統設計,確保調變光束涵蓋整個測試區域而不會截斷。
使用不相符或通用插座可能導致波前誤差、降低量測重複性,甚至損壞安裝表面。專用套件包含插座及與調變電子元件匹配的電源供應器。
開始之前:檢查事項
確認您的干涉儀安裝法蘭是否符合 12" PMR 套件的螺栓圖案。該套件歸類於「大型孔徑系統」類別,因此適用於孔徑為 12 英吋的系統,但請務必根據系統手冊驗證實際介面尺寸。
確保電源供應器的電壓與連接器類型符合您實驗室的電源插座及插座輸入。套件包含電源供應器,但如果您所在區域與系統原始配置區域不同,可能需要當地插電轉接器。
安裝步驟
- 驗證相容性: 檢查您的干涉儀安裝法蘭是否符合 12" PMR 套件的螺栓圖案,且系統孔徑為 12 英吋。同時確認電源供應器電壓與您的實驗室供應相符。 如果螺栓圖案不符,請勿強行安裝;請聯絡製造商取得轉接板。
- 關閉電源並鎖定: 關閉干涉儀及任何連接的雷射。遵循您設施的鎖定/標記程序,防止安裝期間意外啟動。 切勿在系統開啟或雷射啟動時於光學安裝裝置上工作。
- 安裝插座: 將 12" PMR 插座對齊安裝法蘭,並以星形圖案用手鎖緊螺栓。然後依照製造商規格(如有提供)鎖緊至指定扭力。避免過度鎖緊,以免變形插座。 如有指定規格,請使用扭力扳機;否則,均勻且適度地鎖緊。
- 連接電源供應器: 將電源供應器纜線連接至插座輸入端,然後將供應器插入接地插座。在插座完全安裝之前,請勿連接電源。 再次確認連接器已完全插入,以避免間歇性接觸。
- 開啟電源並驗證: 開啟系統,並執行內建自我測試或使用參考平面進行簡單相位量測。確認調變穩定且波前在預期範圍內。 如果相位訊號有雜訊,請重新檢查電源連接,並確保插座清潔。
- 記錄與校正: 在您的維護記錄中記錄安裝日期、扭力值及任何測試結果。如果您的干涉儀在安裝新硬體後需要進行完整系統校正,請執行之。 保留記錄以供未來故障排除及預防性維護使用。
產品資訊
- 12" PMR 套件(相位調變插座)含電源供應器: ZYGO 12" PMR 套件(相位調變插座)含電源供應器歸類於「大型孔徑系統」類別,標準配置的 SKU 為 6500-0191-11。此套件專為 12 英吋孔徑系統打造,因此您可獲得匹配的插座與電源供應器,共同提供可靠的相位調變。

12" PMR 套件(相位調變插座)含電源供應器
