Verifire HDX 與 MST：哪款干涉儀最適合？
By Zygo | Published: 2026-10-15
Category: 比較分析
比較Verifire HDX與MST的光圈、變焦與認證。了解哪款Zygo干涉儀符合您工廠的測試需求與預算。
快速解答
如果您需要 6 英吋孔徑，且具備編碼變焦與對焦功能，以進行靈活的高解析度測試，請選擇 Verifire HDX。如果您的工作主要針對較小的光學元件，且需要一台小巧、經濟實惠的干涉儀，則請選擇 Verifire MST。兩者並無絕對的優劣之分；正確的選擇取決於您的零件尺寸、所需的解析度，以及是否需要認證參考標準。
影響量測的關鍵差異
最明顯的差異在於孔徑。Verifire HDX 提供 6 英吋孔徑，可讓您一次量測較大的光學元件，無需拼接。Verifire MST 的孔徑通常較小，因此適合較小的元件，但量測較大的零件時可能需要拼接。
變焦與對焦控制也有所不同。HDX 具備編碼變焦與對焦功能，這表示系統可以電子方式回報並重現變焦與對焦位置。這對於可重複的設定與自動化配方非常有用。MST 可能依賴手動調整，這對於低量測試來說沒問題，但在生產測試中會較慢。
認證與追溯選項
如果您的品質系統需要可追溯的校正，Zygo 提供經認證的參考標準，例如 88nm 階高標準片（附 ZYGO 認證）。此階高標準片隨附 ZYGO 認證，並與 ISO 17025 認證實驗室相關聯。它可用於驗證任一型號干涉儀的性能，但需另行購買。
HDX 和 MST 皆依賴 Zygo 的干涉儀平台，但認證配件和備用零件的供應情況可能有所不同。例如，Verifire USB3 相機組件是備用零件，需要經過認證的 Zygo 現場服務工程師進行正確安裝。這提醒您在規劃持有成本時，需將服務管道納入考量。
哪種型號符合您工廠的工作流程？
對於測試中小型光學元件混合產品的工廠，HDX 的 6 英吋孔徑和編碼變焦提供了餘裕度和自動化友善功能。如果您的零件始終很小且產量低，MST 可能就足夠且更經濟。
請考慮您的未來需求：如果您預計增加更大的零件或自動化測試，HDX 的編碼軸可以節省設定時間。如果您需要認證您的量測，請規劃購買認證階高標準片，並確保在更換任何相機或主要組件時，能夠獲得 Zygo 現場服務。
權衡一覽
- 孔徑尺寸： HDX：6 英吋孔徑，適用於較大的光學元件；MST：孔徑較小，適合緊湊型零件。 如果您定期測試大於數英吋的零件，HDX 可避免拼接。
- 變焦與對焦控制： HDX：編碼變焦與對焦，實現可重複、可程式化的設定；MST：可能需要手動調整。 若需自動化或高產量，請選擇 HDX；若為手動、低量工作，則選擇 MST。
- 認證與服務： 兩者皆可使用如 88nm 階高標準片等認證標準；相機更換需要 Zygo 現場服務。 無論選擇哪種型號，都需將認證標準和服務管道的成本納入考量。
產品資訊
- 1.064 µm Verifire 干涉儀，配備 6 英吋孔徑: ZYGO 1.064 μm Verifire 干涉儀（配備 6 英吋孔徑）提供編碼變焦與對焦功能。編碼變焦與對焦可實現可重複、可程式化的設定，這對於自動化或高混合測試非常有價值。
- 88nm 階高標準片（附 ZYGO 認證）: 88nm 階高標準片（附 ZYGO 認證）以 SKU 6300-0917-01 供應，並與 ISO 17025 認證實驗室相關聯。此標準片為您的干涉儀提供可追溯的驗證，支援品質稽核與校正需求。
- Verifire USB3 相機組件: Verifire USB3 相機組件需要經過認證的 Zygo 現場服務工程師進行正確安裝，至少需要 5 小時。在規劃相機升級或更換時，請將專業安裝費用納入預算，以避免停機並確保正常運作。
適用性指南
最適合
- 測試各種尺寸（最大 6 英吋）零件的工廠
- 需要可重複、自動化設定的生產環境
- 需要使用階高標準片進行可追溯認證的實驗室
不適合
- 僅測試小型光學元件且自動化需求極低的工廠
- 預算有限且不需要編碼軸的買家
- 無法獲得 Zygo 現場服務進行相機安裝的任何人士
