設定 12 吋元件固定座進行干涉量測

快速解答

若要設定 12 吋萬用元件夾具用於干涉測量，請遵循系統化流程：準備光學平台、穩固安裝夾具、對準元件，並使用測試光束驗證對準。

逐步設定流程

1. 準備光學平台： 清潔光學平台表面並確保其水平。使用適當的夾具或螺栓將夾具底座固定在平台上，以防止對準過程中移動。 穩定的底座至關重要；任何移動都會破壞對準。
2. 安裝夾具： 將 12 吋萬用元件夾具安裝到平台上，確保安裝孔與平台槽位對齊。均勻鎖緊所有緊固件，以避免對夾具產生應力。 使用直尺或雷射檢查夾具是否與預期的光束路徑垂直。
3. 安裝光學元件： 將光學元件放入夾具中，小心居中。使用調整旋鈕施加均勻壓力，避免過度鎖緊而導致元件變形。 過度鎖緊可能會引入應力並導致波前誤差。
4. 對準元件： 使用參考光束或自動準直儀將元件的表面法線對準光束。調整傾斜和俯仰控制，直到反射最小化或居中。 反覆調整；小幅變動可能產生重大影響。
5. 驗證對準： 執行測試測量以確認對準。檢查條紋或光點尺寸在孔徑上的一致性。如有需要，重複對準步驟。 務必以測試測量驗證；目視對準可能不足。
6. 固定並完成： 對準完成後，鎖緊所有調整機構並重新檢查對準，以確保鎖緊過程中沒有移位。 鎖緊可能會使對準偏移；鎖緊後務必重新驗證。

產品資訊

• 12" 萬用元件夾具: ZYGO 12" 萬用元件夾具屬於大型孔徑系統類別，設計用於在大型孔徑設置中固定光學元件。此夾具為大型光學元件提供穩定平台，確保干涉測量期間的一致定位。