干涉儀校準用平面鏡靶
By Zygo | Published: 2026-10-25
Category: 購買指南
了解Zygo平面鏡靶如何簡化HPSMI、TACI和DPMI系統的干涉儀對準，並獲得在標準和反向樣式之間選擇的實用決策規則。
快速解答
在 HPSMI、TACI 或 DPMI 系統中對準干涉儀時，Zygo 平面反射鏡目標提供了一個可靠的參考面。對於典型配置，請選擇標準型；當您的安裝限制需要翻轉方向時，請選擇反向型。
為何樣式選擇對對準很重要
平面反射鏡目標並非一體適用的配件。其兩種樣式選項——標準型和反向型——可滿足不同的實體安裝和光束路徑需求。選擇錯誤的樣式可能會迫使您重新調整設置或增加不必要的轉接器。
標準型（SKU 6191-0437-03）是大多數桌上型配置的預設選擇。反向型（SKU 6191-0437-05）則將安裝法蘭方向翻轉，有助於當您的干涉儀頭或夾具限制了一側的存取時使用。
相容性考量
此目標明確相容於 HPSMI、TACI 和 DPMI 系統。如果您使用不同的干涉儀平台，則需要另外驗證機械和光學相容性。目錄中未列出轉接器或跨品牌支援。
該目標是一種光學配件，而非獨立的對準工具。您仍然需要一個適當準直的光源和一個穩定的支架來實現可重複的對準。
選擇平面反射鏡目標的決策規則
- 如果您的干涉儀安裝在標準光學麵包板上： 選擇標準型（SKU 6191-0437-03）。這是預設方向，無需額外轉接器即可適用於大多數桌上型配置。
- 如果您的安裝法蘭朝向不可存取的一側： 選擇反向型（SKU 6191-0437-05）。它會翻轉反射鏡方向，以配合目標必須放置在夾具另一側的設置。 請在下訂前確認您夾具的法蘭方向，以避免退貨。
- 如果您不確定您的設置幾何形狀： 從標準型開始。這是更常見的選擇，在大多數情況下可以使用簡單的墊片或間隔器進行調整。反向型則是針對受限空間的特意選項。 在最終確定前，請測量干涉儀頭兩側的可用間隙。
產品資訊
- 平面反射鏡目標: 提供標準型和反向型兩種樣式選項，每種都有獨立的 SKU。選擇正確的樣式可避免設置中的物理干擾，並在初始對準時節省時間。
平面反射鏡目標
誰應該購買此產品？
最適合
- 需要專用參考反射鏡來對準 HPSMI、TACI 或 DPMI 干涉儀的技術人員
- 已擁有相容干涉儀，並希望使用專用對準輔助工具而非通用反射鏡的使用者
不適合
- 使用 HPSMI、TACI 或 DPMI 以外干涉儀平台的使用者（相容性未經驗證）
- 需要比目錄中未說明的公差更嚴格的平坦度規格的應用（請另外檢查您的系統需求）
