Michelson 物鏡與穿透式平板的搭配
By Zygo | Published: 2026-11-02
Category: 技巧與保養
逐步說明如何將 2.75X、0.08NA Michelson 物鏡與 33mm Dynaflect 穿透式平晶搭配使用，從螺紋與齊焦檢查到對準與操作，完整涵蓋。
快速解答
在接觸平面鏡之前，先讓物鏡與鏡座相符：確認 2.75X 的 0.08NA Michelson 物鏡的 M25 螺紋與 60mm 等焦長度適合您的轉盤，接著再裝入 33mm Dynaflect 透射平面鏡，並僅在物鏡就位且清潔後才進行對準。
為何要依此順序檢查這兩項配件
物鏡決定放大倍率與數值孔徑；透射平面鏡則決定參考表面的品質。若物鏡未就位於正確的等焦高度，之後對平面鏡的每一次調整都會補償錯誤的問題。因此螺紋配合與等焦長度必須優先確認，平面鏡對準則其次。
33mm Dynaflect 平面規格為 1/20 波長、PV，並採用 Dynaflect 鍍膜。這個表面數值只有在平面乾淨且方向正確時才有幫助；指紋或傾斜的安裝座，會在 1/20 波長數值產生影響之前，就先主導整個量測結果。
何時這種搭配是錯誤的選擇
0.08NA 物鏡收集的光線較少，解析細微細節的能力也不如更高 NA 的選項，因此適合對位與整體檢視工作，而非高解析度檢測。如果您的任務需要更嚴格的橫向解析度，這款物鏡只是妥協，並非升級。
33mm Dynaflect 平面鏡是一款鍍膜參考配件，其價格反映其表面規格。若用於粗略設定或訓練，請使用工作用平面鏡，並將此產品保留供最終參考檢查使用。兩份產品記錄均未列出環境限制或清潔溶劑，因此在使用任何超出輕柔乾式處理的程序之前，請先向 Zygo 確認。
逐步配對流程
- 安裝前請確認螺紋與共焦配合： 請確認旋轉座或接座可接受 M25 螺紋，且 60mm 的齊焦長度與物鏡座中其他物鏡相符。請以手動方式測試螺紋嚙合，切勿強行施力。常見錯誤：未經確認就假設接座為 M25，導致物鏡螺紋錯牙。 若物鏡無法以手動方式開始旋入，請停止並確認接座規格。
- 請先檢查並清潔物鏡： 安裝前，請在燈光下檢查前後表面。請用柔和氣吹球移除鬆散灰塵；請勿擦拭乾燥表面。常見錯誤：在物鏡仍附著灰塵時清潔平坦面，灰塵隨後會沉積於其上。 從物鏡向外清潔，而不是反過來。
- 裝上物鏡並檢查對焦行程： 將物鏡完全旋緊到底，然後確認載物台在正常範圍內仍能達到對焦。如果對焦行程用盡，表示此接座的齊焦高度不正確。常見錯誤：用平板（flat）的傾斜來補償，而不是修正物鏡的安裝位置。 物鏡裝好後，對焦行程應保持順暢。
- 將透射片平放並檢查方向： 將 33mm Dynaflect 平面片平放安裝於固定座中，並依您的設定需求確認鍍膜面朝向光束路徑。請輕柔放入，並檢查固定座未夾住邊緣。常見錯誤：過度鎖緊固定環，可能使光學元件承受應力。 平面片應被穩固托持，而非夾緊。
- 在低同調性或降低強度的情況下對準平面片： 從略微傾斜的平面開始，將其移入直到出現條紋，然後微調傾斜度與位置。常見錯誤：明明小幅調整就足夠，卻用大幅移動安裝座來追條紋。 如果條紋無法穩定，請先重新檢查物鏡的安裝定位，再移動平面。
- 記錄工作位置，並將兩個零件清潔後存放： 記下平面的安裝位置與物鏡的轉盤槽位，讓下一次作業能從已知位置開始。將兩者裝上護蓋後放回各自的收納盒。常見錯誤：在兩次作業之間將平面裸露放在工作台上。 儲存位置可節省下一次對準作業的時間。
產品資訊
- 2.75X、0.08NA Michelson 物鏡: 2.75X 放大倍率、0.08NA、M25 螺紋，以及 60mm 齊焦長度。螺紋與齊焦數值決定物鏡是否能裝入您的物鏡轉盤，而不需重新對焦其他位置。
2.75X，0.08NA Michelson 物鏡 - 33 mm Dynaflect 透射平面鏡: 33 mm Dynaflect 透射平面鏡，規格為 1/20 波長、PV，並採用 Dynaflect 鍍膜。1/20 波長的表面面形是您要保護的參考品質，因此拿取與對準所需的謹慎程度，比價格所暗示的更高。
33 mm Dynaflect 透射平面鏡
