橫向校正標準：對計量學的作用
By Zygo | Published: 2026-10-18
Category: 產品評論
了解什麼是橫向校正標準、為何它對精密計量至關重要，以及如何使用Zygo橫向校正標準來驗證橫向尺規精度。
快速解答
橫向校正標準是一種具有已知尺寸的實體工件，用於驗證光學輪廓儀或干涉儀的橫向（X-Y）量測準確度。Zygo 橫向校正標準提供一個簡單、非認證的參考，適用於例行尺度檢查。
為何橫向校正很重要
橫向量測——樣品平面上的距離與位置——在表面計量中與垂直（Z）軸量測同樣關鍵。若無可靠的橫向參考，即使校準良好的干涉儀也可能產生誤導的特徵尺寸、間距誤差或失真的表面圖。
橫向校正標準提供一個已知圖案（例如毫米尺），讓您檢查儀器的 XY 載物台與成像系統是否回報正確的距離。定期使用可在漂移、載物台背隙或像素縮放誤差影響數據前及早發現。
Zygo 橫向校正標準包含什麼
Zygo 橫向校正標準是一張基本、非認證的顯微鏡載玻片，上面印有毫米尺。它專為快速、日常驗證而設計，而非正式的追溯校正。由於缺少證書，最適合用於內部一致性檢查與操作人員訓練，不適用於需要文件化追溯性的稽核。
診斷橫向量測誤差
- 症狀： 量測到的特徵寬度或距離與預期值不符；表面圖顯示某一方向出現一致的拉伸或壓縮。
- 可能原因： 像素縮放錯誤、載物台校正漂移或光學放大倍率誤差。XY 量測鏈已失去參考基準。
- 修正措施： 將 Zygo 橫向校正標準放置在載物台上，對焦毫米尺，量測一個已知間距（例如 1 毫米）。將量測值與預期值進行比較。若誤差超出可接受的公差，請在 MetroPro 中調整儀器的橫向校正係數，或聯絡 Zygo 支援。 記錄量測誤差與日期。每週重複一次以追蹤漂移。
- 何時停止或選擇其他選項： 若您的應用需要 ISO 17025 追溯性或文件化的校正證書，則非認證的 Zygo 橫向校正標準並不夠用。在這種情況下，請使用附有追溯校正報告的認證橫向標準。 如需稽核等級的追溯性，請投資認證標準並妥善保存校正證書。
產品事實
- 橫向校正標準: ZYGO 橫向校正標準是一張基本、非認證的顯微鏡載玻片，上面印有毫米尺。它為 Zygo 儀器提供簡單、可重複的參考，用於驗證橫向尺度準確度；但由於未經認證，無法取代用於合規目的的正式校正標準。
橫向校正標準
