差分平面鏡干涉儀：DPMI 的運作原理

快速解答

差動平面鏡干涉儀（DPMI）會將單一雷射光束分成兩條路徑，分別由兩面獨立的平面鏡反射後再重新合併，使干涉訊號呈現兩條路徑之間的差異。設定時，請先定義兩面參考鏡，分別獨立對準每一道回返光束，最後再將差動讀值歸零。

DPMI 設定流程

1. 在安裝任何東西之前，先定義量測： 決定您需要角度參考鏡還是位移參考鏡，並寫下哪個表面是目標、哪個表面是參考。常見錯誤：根據工作台上既有的東西來選擇參考鏡，而不是根據量測需求來選擇。 如果答案不明確，請先停下來，並在繼續之前與 Zygo 確認配置。
2. 將兩個參考鏡穩固且獨立地安裝： 將參考鏡與平面鏡目標安裝在不共用撓性構件的固定座上。確認每個固定座都能在不干擾另一個的情況下進行調整。常見錯誤：將兩面鏡子夾在同一塊薄板上，這會耦合它們的運動並使差動量測失效。 鎖緊後輕輕推壓每個固定座；任何可見的移動都表示該固定座尚未準備好進行計量。
3. 將干涉儀頭部調至水平並與目標路徑對正： 設定頭部，使量測光束在平面鏡目標行程中心附近入射，並在整個平台範圍內經由孔徑返回。常見錯誤：只在起始位置對準，然後在行程末端失去返回光束。 在鎖定任何部件之前，先讓載台走完全部行程範圍。
4. 分別對準每一道回光光束並加以標示： 一次阻擋一條光路，並將另一道回光導向其偵測器或相機位置。在頭部標明哪一道回光是目標光路、哪一道是參考光路。常見錯誤：同時調整兩道回光，並將未對準的參考光誤認為置中良好的目標光。 在嘗試觀察條紋之前，兩道回光都應置中且穩定。
5. 觀察條紋並確認差動響應： 在兩條路徑皆開啟的情況下，尋找清晰的條紋，然後刻意僅將目標反射鏡移動一小段已知距離。條紋數量應會改變；僅移動參考反射鏡也應使其改變，藉此確認兩條路徑皆正常運作。常見錯誤：接受對兩個反射鏡皆無反應的條紋，這通常表示其中一條路徑被阻擋。 若只有一個反射鏡會改變讀值，表示其中一道回傳光束未到達干涉儀。
6. 讓系統達到熱平衡，然後歸零： 依系統所需的預熱時間運轉雷射與載台，觀察差動讀值是否漂移，之後再設定零點。常見錯誤：開機後立即歸零，使預熱漂移被寫入後續每一次讀值。 歸零前先記錄漂移率；穩定的讀值是可信零點的前提。
7. 收集資料前，先以重複量測進行驗證： 將目標移開再移回起始位置，確認差動讀值在您的容許範圍內回到零點。常見錯誤：省略回零檢查，直到長時間量測後才發現背隙或固定座潛變。 若讀值未回到零，請先檢查安裝座，再調整光學元件。

產品資訊

• 差動平面鏡干涉儀: 差動平面鏡干涉儀，設計用於搭配平面鏡目標，以及角度參考鏡或位移參考鏡。參考鏡的選擇會決定您的差動讀值代表角度或線性位移，因此請在安裝光學元件前先確認這一點。