6吋紅外線干涉儀中3.39µm與10.6µm的比較

By Zygo | Published: 2026-10-23

Category: 比較分析

比較 6 英吋紅外線干涉量測中 3.39 µm 與 10.6 µm 波長的主要差異，並了解哪款 Zygo 穿透平晶適合您的應用。

快速解答

對於 6 英吋的紅外線干涉測量，如果您需要針對 3.39 µm 最佳化的大口徑參考平面，請選擇 Zygo 6" 3.39 µm TF；如果您需要在更小的卡口安裝形式中具備 3.39 µm 和 10.6 µm 的雙波長能力，則選擇 Zygo 2" IR TF。

紅外線干涉測量使用能穿透可見光不透明材料的波長。3.39 µm 和 10.6 µm 是常見的選擇，各自具有不同的材料和鍍膜要求。您選擇的波長會影響光學材料、表面品質規格以及您可以測量的樣品類型。

Zygo 6" 3.39 µm TF 提供完整的 6 英吋有效口徑，適合測試大型光學元件或組件。相比之下，Zygo 2" IR TF 具有 2 英吋口徑和 4 英吋卡口安裝，更為緊湊且易於整合到現有配置中，但限制了視野。

口徑尺寸： 6" TF：6 英吋有效口徑，適用於大型光學元件。2" IR TF：2 英吋口徑，搭配 4 英吋卡口安裝，適用於緊湊配置。 如果您需要測試大型元件，請選擇 6"；如果空間有限，請選擇 2"。
波長靈活性： 6" TF：僅針對 3.39 µm 最佳化。2" IR TF：可在 3.39 µm 和 10.6 µm 下工作。 如果您需要在兩個波長下進行測量，請選擇 2" IR TF；如果專門用於 3.39 µm 的工作，則堅持使用 6" TF。
表面品質： 6" TF：在 3.39 µm 下為 1/20 波 PVr（約 32 nm）。2" IR TF：150 nm PVr。 6" TF 為要求嚴格的計量提供更高的表面精度；2" TF 則足以滿足較不關鍵的測量需求。

6" 3.39 µm TF: Zygo 6" 3.39 µm TF 的規格為在 3.39 µm 下 1/20 波 PVr，並由 ZnS 製成。這種高表面品質（1/20 波）確保了在 3.39 µm 下對大型光學元件進行精密計量時的準確參考波前。
6" 3.39 µm TF
2" IR TF，3.39 µm 和 10.6 µm: Zygo 2" IR TF 是一款雙波段透射平面鏡，鍍有適用於 3.39 µm 和 10.6 µm 的 AR 鍍膜，由 ZnSe 製成，表面規格為 150 nm PVr。雙波段 AR 鍍膜讓您可以在兩個常見的紅外線波長之間切換，無需更換光學元件，儘管 150 nm PVr 規格不如 6" TF 上的 1/20 波（約 32 nm）嚴格。
2" IR TF，3.39 µm 和 10.6 µm