1.55 µm Verifire MST干涉儀：主要功能說明

快速解答

Zygo 1.55 µm Verifire MST 干涉儀提供精準的表面計量，配備 4 英寸或 6 英寸孔徑、1X 固定放大倍率及編碼對焦，是生產與實驗室環境的可靠選擇。

常見問題

1.55 µm 波長對我的測量有何影響？

1.55 µm 波長屬於紅外線範圍，可降低對環境光的敏感度，並能測量在可見光波長下透明或高反射的曲面。它特別適用於測量矽晶圓和鍍膜光學元件。

編碼對焦如何改善測量重複性？

編碼對焦會自動記錄對焦位置，讓您能在多次測量或不同工作階段中回到完全相同的對焦設定。這消除了操作者依賴的變異性，並提升了長期一致性。

日後可以升級孔徑大小嗎？

孔徑是干涉儀設計的組成部分，無法在現場升級。請根據您目前及預期的零件尺寸選擇 4 英寸或 6 英寸版本，以避免需要第二台儀器。選擇與您最大典型零件相符的孔徑，以最大化儀器使用率。

Verifire MST 可以測量哪些類型的零件？

它專為平面和球面設計，包括光學平面、鏡子、透鏡和稜鏡。1.55 µm 波長也允許測量在可見光波長下不透明的材料，如矽和鍺。

如何維護 Verifire MST 的校準？

Zygo 建議每年使用認證參考標準進行校準。編碼對焦和固定放大倍率有助於維持校準穩定性，但環境因素如溫度和振動也會影響準確度。請安排年度校準並控制測量環境以獲得最佳結果。

產品資訊

• 1.55 µm Verifire MST 干涉儀: 4 英寸孔徑、1X 固定放大倍率、編碼對焦、1.55 μm 波長。4 英寸孔徑在視野與解析度之間取得平衡，適合大多數精密光學元件，而編碼對焦則消除了手動重新對焦的錯誤。

  

• 1.55 µm Verifire 干涉儀，配備 6 英寸孔徑: 6 英寸孔徑、Verifire MST 配置，配備 1X 固定放大倍率及編碼對焦。6 英寸孔徑可容納較大的零件或單次測量多個元件，提升高量檢測的產能。