Porque é que as leituras do seu perfilómetro ótico se desviam e como corrigi-las

Resposta rápida

A maior parte da deriva em perfilómetros óticos está relacionada com o ambiente ou com a configuração, não com uma avaria do instrumento. Comece por verificar vibrações, temperatura e estabilidade da amostra antes de tocar na calibração. Se as leituras continuarem a derivar depois de controlar esses fatores, recalibre com um padrão de degrau certificado e verifique o movimento da mesa.

Verificação de sintomas: é deriva ou um desvio único?

Deriva significa que as leituras mudam ao longo do tempo sem uma alteração deliberada na amostra ou na configuração. Um desvio único permanece constante em medições repetidas. Antes de ajustar qualquer coisa, meça a mesma amostra estável três vezes ao longo de 10 minutos. Se os valores variarem, tem deriva. Se estiverem consistentemente desviados pela mesma quantidade, tem um desvio que a calibração pode resolver.

Causa provável 1: vibração e ruído acústico

Os perfilómetros óticos são instrumentos interferométricos. Vibração do chão, bombas próximas ou até mesmo AVAC ruidoso podem deslocar as franjas e fazer com que as leituras de altura derivem. Este é um dos problemas de vibração de perfilómetros mais comuns. Mova o sistema para um local mais silencioso ou adicione uma mesa de isolamento. Se já tiver isolamento, verifique se está nivelado e se os isoladores estão corretamente insuflados.

Causa provável 2: alterações térmicas na sala ou na amostra

Uma alteração de 1°C na sala pode mover peças metálicas o suficiente para ser registada como deriva num perfilómetro de alta resolução. Deixe o instrumento e a amostra estabilizarem durante pelo menos uma hora após qualquer alteração de temperatura. Evite colocar o perfilómetro perto de janelas, portas ou equipamento que liga e desliga. Para medições críticas, registe a temperatura ambiente juntamente com os seus dados.

Causa provável 3: movimento da mesa ou fixação solta

Se a deriva aparecer apenas quando move a mesa, o problema é mecânico. Verifique se a amostra está firmemente fixada e se a mesa não está a prender. Em sistemas com eixos motorizados, uma mesa gasta ou desalinhada pode causar deriva repetível numa direção. O kit de movimento de eixo NewView 1 fornece Z motorizado com ajuste manual XYRP, portanto, se a sua configuração usar XY manual, verifique se esses bloqueios estão apertados antes de culpar a eletrónica.

Ação corretiva: recalibre com um padrão certificado

Quando o ambiente e a fixação forem excluídos, recalibre usando um padrão de degrau certificado. O Padrão de Degrau de 88nm com Certificação ZYGO é fornecido como SKU 6300-0917-01 e está associado a um laboratório certificado ISO 17025, o que significa que o seu valor reportado é rastreável. Siga o procedimento de calibração do seu sistema e compare a altura do degrau medida com o valor certificado. Se o erro estiver dentro da sua tolerância de processo, está concluído.

Quando parar e chamar assistência

Pare de ajustar e contacte o serviço da Zygo se a deriva continuar depois de controlar vibração, temperatura e fixação, e após uma calibração bem-sucedida com um padrão certificado. Pare também se vir saltos súbitos maiores do que a sua incerteza de calibração, ou se o instrumento reportar erros de hardware. Recalibrar repetidamente um sistema com deriva pode mascarar um componente com falha e desperdiçar tempo.

Fluxo de diagnóstico de deriva

• Sintoma: leituras variam ao longo de minutos: Verifique primeiro vibração e alterações térmicas. Meça a mesma amostra três vezes ao longo de 10 minutos para confirmar a deriva. Se estiver estável, o problema é um desvio, não deriva.
• Sintoma: deriva apenas ao mover a mesa: Inspecione a fixação da amostra e os bloqueios da mesa. Em sistemas NewView 8000/9000, verifique se os ajustes Z e XYRP do kit de movimento não estão a escorregar. Se a mesa estiver apertada, o problema é provavelmente ambiental.
• Sintoma: deriva persiste depois de o ambiente e a fixação serem controlados: Recalibre com um padrão de degrau certificado, como o Padrão de Degrau de 88nm com Certificação ZYGO. Compare o valor medido com o valor certificado. Se a deriva continuar após uma calibração válida, pare e contacte o serviço da Zygo.

Factos do produto importantes para o diagnóstico de deriva

• Padrão de Degrau de 88nm com Certificação ZYGO: O Padrão de Degrau de 88nm com Certificação ZYGO é fornecido como SKU 6300-0917-01 na configuração Padrão e está associado a um laboratório certificado ISO 17025. Um padrão de degrau rastreável permite-lhe separar a deriva real de um desvio de calibração e dá-lhe uma referência defensável ao resolver problemas.
• Kit de movimento de eixo NewView 1: O kit de movimento de eixo NewView 1 é um acessório ZYGO para a plataforma NewView 8000/9000. Fornece um eixo de movimento com Z motorizado e ajuste manual XYRP. Se a deriva aparecer apenas durante movimentos da mesa, o Z motorizado e o ajuste manual XYRP deste kit ajudam-no a isolar se o problema está no sistema de movimento ou na ótica.