Como instalar e alinhar uma mesa de isolamento de vibrações Zygo

Resposta rápida

Instale a sua mesa de isolamento de vibrações Zygo num piso rígido e nivelado, longe de fontes de vibração. Em seguida, nivele a mesa e alinhe os suportes ópticos antes de afinar os isoladores. Verifique a estabilidade medindo a deriva das franjas com um interferómetro Zygo, como o Verifire de 1.064 μm com abertura de 6 polegadas. Deixe o sistema assentar durante 24–48 horas antes de efetuar medições críticas.

Prepare o local e inspecione a mesa

Escolha uma localização numa laje de betão, idealmente ao nível do chão ou numa cave, longe de unidades de AVAC, elevadores e zonas de muito movimento. Certifique-se de que o chão está nivelado e consegue suportar a mesa mais a carga. Desembale a mesa e inspecione-a para detetar danos de transporte; verifique se todos os isoladores, válvulas de nivelamento e orifícios de montagem estão intactos. Reúna as ferramentas: um nível de precisão (0.02 mm/m ou melhor), chave dinamométrica, chaves hexagonais e um produto de limpeza compatível com salas limpas.

Erro comum: colocar a mesa num chão de madeira suspenso ou perto de uma porta. Ponto de verificação: o chão deve sentir-se sólido sob os pés e não transmitir vibrações quando caminhar nas proximidades.

Posicione a mesa e nivele-a aproximadamente

Coloque a mesa na sua localização final, deixando pelo menos 60 cm de espaço livre em todos os lados para acesso. Se a mesa tiver isoladores removíveis, instale-os de acordo com as instruções do fabricante. Utilize os pés niveladores ou o ajuste de altura dos isoladores para colocar o tampo da mesa dentro de 0.5 mm/m de nível. Comece pelos cantos e avance em direção ao centro para evitar torcer a estrutura.

Erro comum: apertar demasiado um canto, o que pode empenar a mesa. Ponto de verificação: um nível de precisão colocado sobre a mesa nas direções X e Y deve mostrar um desvio inferior a meia bolha.

Alinhar suportes óticos e componentes

Assim que a mesa estiver nivelada, comece a montar os seus componentes ópticos. Utilize a grelha de furos roscados da mesa para posicionar os suportes e aperte os parafusos primeiro à mão. Alinhe o eixo óptico com um laser ou telescópio de alinhamento, ajustando os suportes de forma iterativa. Para interferometria, preste especial atenção à superfície de referência e ao dispositivo em teste. Se estiver a utilizar um Zegage ProHR, o seu palco XYZ motorizado e a inclinação/rotação manual podem simplificar o alinhamento fino.

Erro comum: forçar um suporte num furo desalinhado, o que pode danificar as roscas. Ponto de verificação: o feixe deve permanecer centrado no alvo durante todo o percurso do palco.

Ajuste fino do isolamento de vibrações

Se a sua mesa utiliza isoladores pneumáticos, ajuste a pressão do ar para elevar a mesa à sua altura nominal. A maioria dos isoladores tem uma válvula de nivelamento que mantém a altura automaticamente; verifique se a mesa volta ao nível após um empurrão suave. Para sistemas de isolamento ativos, siga o procedimento de arranque do fabricante. Deixe o sistema estabilizar durante pelo menos 30 minutos antes de medir.

Erro comum: definir a pressão demasiado alta, o que pode fazer a mesa derivar. Ponto de verificação: a mesa deve assentar em poucos segundos após um empurrão ligeiro, sem oscilação contínua.

Verificar a estabilidade do interferómetro

Configure o seu interferómetro e meça a estabilidade das franjas durante 5–10 minutos. Uma configuração estável deve apresentar uma deriva mínima das franjas (menos de uma franja por minuto para a maioria das aplicações). Se a deriva for excessiva, verifique correntes de ar, gradientes de temperatura ou vibrações do chão. Utilize o interferómetro Verifire de 1.064 μm com abertura de 6 polegadas para medições de alta resolução; o seu zoom e foco codificados ajudam a manter o alinhamento durante os testes.

Erro comum: medir imediatamente após a instalação antes do equilíbrio térmico. Ponto de verificação: repita a medição após 24 horas; a estabilidade deve melhorar à medida que o sistema estabiliza.

Passos de instalação e alinhamento

1. Preparação do local: Coloque a mesa num piso rígido e nivelado, longe de fontes de vibração. Garanta uma folga de pelo menos 60 cm em todos os lados. Ponto de verificação: o piso não deve transmitir vibrações quando se caminha sobre ele.
2. Nivelamento aproximado: Ajuste os isoladores ou pés para colocar a mesa dentro de 0.5 mm/m de nível, trabalhando dos cantos para o centro. Ponto de verificação: o nível de precisão mostra um desvio inferior a meia bolha.
3. Alinhamento óptico: Monte e alinhe os componentes ópticos utilizando a grelha de furos da mesa, começando com parafusos apertados à mão. Ponto de verificação: o feixe permanece centrado em todo o percurso da plataforma.
4. Ajuste do isolador: Ajuste a pressão do ar ou os parâmetros de isolamento ativo para que a mesa volte ao nível após um empurrão suave. Ponto de verificação: a mesa estabiliza em segundos sem oscilação.
5. Verificação de estabilidade: Meça a deriva das franjas com um interferómetro durante 5–10 minutos; repita após 24 horas. Ponto de verificação: deriva inferior a uma franja por minuto para a maioria das aplicações.

Dados do produto

• Interferómetro Verifire de 1.064 µm com abertura de 6 polegadas: Interferómetro Verifire de 1.064 µm com abertura de 6 polegadas, zoom e foco codificados, SKU SSR VF-1064-6-1. Fornece uma referência de medição estável e de alta resolução para verificar o desempenho de isolamento da mesa.
• Zegage ProHR: O Zegage ProHR inclui um estágio XYZ motorizado (100 × 100 mm), inclinação manual (±4°), objetivas de 10x e 50x e um novo controlador de sistema com software Win 11 e Mx. O estágio motorizado e a inclinação simplificam o alinhamento preciso das amostras na mesa de isolamento.
• Padrão de degrau de 88 nm com certificação ZYGO: Padrão de degrau de 88 nm com certificação ZYGO, SKU 6300-0917-01, de um laboratório certificado ISO 17025. Pode ser utilizado como artefacto de referência para verificar a calibração do sistema após a instalação e alinhamento.