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Guia de configuração de deslocamento de fase mecânico para expansor de feixe de 12"

Guia de configuração de deslocamento de fase mecânico para expansor de feixe de 12"

By Zygo | Published: 2026-10-24

Category: Guias Práticos

Instruções passo a passo para configurar um expansor de feixe de 12 polegadas com deslocamento de fase mecânico num interferómetro de grande abertura, incluindo dicas de alinhamento e erros comuns.

Resposta rápida

Monte o expansor de feixe de 12" para deslocamento de fase mecânico, fixando-o numa mesa estável, alinhando o cubo mux e calibrando o deslocador de fase com o feixe de referência do interferómetro.

Porque é que a precisão da montagem é importante para o deslocamento de fase mecânico

O deslocamento de fase mecânico depende do movimento preciso e repetível da superfície de referência. Um expansor de feixe desalinhado introduz erros de frente de onda que degradam a precisão da medição, especialmente com aberturas grandes. O expansor de feixe de 12" requer uma mesa estável de 4' x 10' x 1' para suportar o seu tamanho e o cubo mux.

Ao contrário do deslocamento de fase dinâmico, o deslocamento de fase mecânico utiliza um estágio físico para mover a referência. Isto significa que qualquer vibração ou inclinação no suporte do expansor afeta diretamente os passos de fase. Dedicar tempo a nivelar e fixar os componentes compensa em interferogramas mais limpos.

Processo de montagem passo a passo

  1. Prepare a mesa ótica: Limpe uma área de mesa de 4' x 10' x 1'. Certifique-se de que a superfície está nivelada e livre de fontes de vibração. Monte a placa de base do expansor de feixe de forma segura utilizando o padrão de parafusos fornecido. Erro comum: utilizar uma mesa mais pequena. O cubo mux e o expansor necessitam da área total para evitar tensão nos cabos e desalinhamento.
  2. Instale o cubo mux: Fixe o cubo mux à porta de entrada do expansor. Alinhe o cubo de modo a que o feixe do interferómetro entre no ângulo correto (tipicamente 45 graus). Aperte os parafusos de bloqueio de forma uniforme. Verifique se a face de saída do cubo está paralela ao eixo do expansor; uma inclinação aqui irá desviar todo o alinhamento a jusante.
  3. Ligue o interferómetro: Posicione o interferómetro (Verifire, Verifire HD/HDX ou Dynafiz) de modo a que o seu feixe de saída entre no cubo mux. Utilize o laser de alinhamento integrado do interferómetro para centrar o feixe na abertura de entrada do cubo. Se o feixe estiver descentrado, o expansor irá cortar a frente de onda, causando artefactos de difração. Ajuste a altura e a inclinação do interferómetro até que o ponto do laser esteja centrado.
  4. Alinhe o deslocador de fase mecânico: Fixe o estágio de deslocamento de fase ao suporte do plano de referência. Ligue o controlador do estágio à saída de disparo de deslocamento de fase do interferómetro. Realize um teste de curso curto (por exemplo, 5 passos) para verificar um movimento suave e repetível. Um estágio que emperra ou é irregular produzirá erros nos passos de fase. Ouça ruídos mecânicos e observe o movimento não uniforme das franjas durante o teste.
  5. Calibre o deslocamento de fase: Utilize a rotina de calibração do software do interferómetro para medir o tamanho real do passo de fase. Ajuste a tensão de acionamento do estágio ou o número de passos até que o passo medido corresponda ao valor pretendido (por exemplo, 90 graus por passo para um algoritmo de 4 buckets). Não salte este passo: os estágios mecânicos derivam com a temperatura. Recalibre se a temperatura do laboratório variar mais de 2°C.
  6. Realize uma medição de verificação: Coloque um plano de referência calibrado no feixe de teste. Execute uma medição completa de deslocamento de fase e compare o resultado com a figura de superfície conhecida. O desvio RMS deve estar dentro da repetibilidade especificada do interferómetro. Se o desvio for grande, verifique novamente o alinhamento do expansor de feixe e a calibração do deslocador de fase antes de resolver outros componentes.

Factos do produto

  • Expansor de Feixe de 12" - Deslocamento de Fase Mecânico: Expansor de Feixe de 12" para medição de fase mecânica. Compatível com Verifire, Verifire HD/HDX e Dynafiz. Inclui cubo mux (requer mesa de 4' x 10' x 1'). Este expansor foi concebido especificamente para deslocamento de fase mecânico em interferómetros de grande abertura, e o cubo mux incluído simplifica o encaminhamento do feixe, mas exige uma superfície de trabalho grande e estável.
    12" Beam Expander- Mechanical Phase Shifting
    Expansor de Feixe de 12" - Deslocamento de Fase Mecânico

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