Laterale kalibratiestandaard: wat het doet voor metrologie
By Zygo | Published: 2026-10-18
Category: Productrecensies
Leer wat een laterale kalibratiestandaard is, waarom deze belangrijk is voor nauwkeurige metrologie en hoe u de Zygo Lateral Calibration Standard gebruikt om de laterale schaalnauwkeurigheid te verifiëren.
Snel antwoord
Een laterale kalibratiestandaard is een fysiek artefact met bekende afmetingen dat wordt gebruikt om de laterale (X-Y) meetnauwkeurigheid van een optische profiler of interferometer te verifiëren. De Zygo Lateral Calibration Standard biedt een eenvoudige, niet-gecertificeerde referentie voor routinematige schaalcontroles.
Waarom laterale kalibratie belangrijk is
Laterale metingen — afstanden en posities in het vlak van het monster — zijn net zo cruciaal als verticale (Z) metingen in oppervlaktemetrologie. Zonder een betrouwbare laterale referentie kan zelfs een goed uitgelijnde interferometer misleidende afmetingen, pitchfouten of vervormde oppervlaktekaarten produceren.
Een laterale kalibratiestandaard geeft u een bekend patroon (zoals een millimeterliniaal) om te controleren of de XY-tafel en het beeldvormingssysteem van uw instrument de juiste afstanden rapporteren. Regelmatig gebruik detecteert drift, speling in de tafel of fouten in pixelschaling voordat ze uw data beïnvloeden.
Wat de Zygo Lateral Calibration Standard bevat
De Zygo Lateral Calibration Standard is een eenvoudige, niet-gecertificeerde microscoopglaasje bedrukt met een millimeterliniaal. Het is ontworpen voor snelle, dagelijkse verificatie in plaats van formele traceerbare kalibratie. Omdat het geen certificaat heeft, is het het meest geschikt voor interne consistentiecontroles en operator training, niet voor audits die gedocumenteerde traceerbaarheid vereisen.
Diagnose van laterale meetfouten
- Symptoom: Gemeten breedtes of afstanden van kenmerken komen niet overeen met verwachte waarden; oppervlaktekaarten vertonen consistente rek of compressie in één richting.
- Waarschijnlijke oorzaak: Onjuiste pixelschaling, drift in de kalibratie van de tafel of een fout in de optische vergroting. De XY-meetketen heeft zijn referentie verloren.
- Corrigerende maatregel: Plaats de Zygo Lateral Calibration Standard op de tafel, focus op de millimeterliniaal en meet een bekend interval (bijv. 1 mm). Vergelijk de gemeten waarde met de verwachte waarde. Als de fout uw acceptabele tolerantie overschrijdt, pas dan de laterale kalibratiefactor van het instrument aan in MetroPro of neem contact op met Zygo-ondersteuning. Noteer de gemeten fout en de datum. Herhaal wekelijks om drift te volgen.
- Wanneer te stoppen of een andere optie te kiezen: Als uw toepassing ISO 17025 traceerbaarheid of een gedocumenteerd kalibratiecertificaat vereist, is de niet-gecertificeerde Zygo Lateral Calibration Standard niet voldoende. Gebruik in dat geval een gecertificeerde laterale standaard met een traceerbaar kalibratierapport. Investeer voor audit-grade traceerbaarheid in een gecertificeerde standaard en bewaar het kalibratiecertificaat in uw administratie.
Productfeiten
- Laterale kalibratiestandaard: De ZYGO Lateral Calibration Standard is een eenvoudige, niet-gecertificeerde microscoopglaasje bedrukt met een millimeterliniaal. Het biedt een eenvoudige, herhaalbare referentie voor het verifiëren van de laterale schaalnauwkeurigheid op Zygo-instrumenten, maar omdat het niet is gecertificeerd, vervangt het geen formele kalibratiestandaard voor nalevingsdoeleinden.
Laterale kalibratiestandaard
