Een Zygo trilingsisolatietafel installeren en uitlijnen

Snel antwoord

Installeer uw Zygo-trillingsisolatietafel op een stijve, vlakke vloer, weg van trillingsbronnen. Stel de tafel waterpas en lijn de optische houders uit voordat u de isolatoren fijn afstelt. Controleer de stabiliteit door de randdrift te meten met een Zygo-interferometer zoals de Verifire met 1.064 μm en een opening van 6 inch. Laat het systeem 24–48 uur tot rust komen voordat u kritische metingen uitvoert.

Bereid de locatie voor en inspecteer de tafel

Kies een locatie op een betonnen plaat, idealiter op maaiveldniveau of in een kelder, uit de buurt van HVAC-units, liften en drukke looproutes. Zorg ervoor dat de vloer vlak is en het tafelblad plus lading kan dragen. Pak de tafel uit en controleer op transportschade; controleer of alle isolatoren, nivelleerventielen en montagegaten intact zijn. Verzamel gereedschap: een waterpas met precisie (0.02 mm/m of beter), momentsleutel, inbussleutels en een reiniger die geschikt is voor cleanrooms.

Veelgemaakte fout: de tafel op een zwevende houten vloer of bij een deur plaatsen. Controlepunt: de vloer moet stevig aanvoelen en geen trillingen doorgeven wanneer u in de buurt loopt.

Plaats de tafel en stel deze grofweg waterpas

Plaats de tafel op de definitieve locatie en laat aan alle zijden minimaal 60 cm ruimte vrij voor toegang. Als de tafel verwijderbare isolatoren heeft, installeer deze dan volgens de instructies van de fabrikant. Gebruik de stelvoeten of de hoogteverstelling van de isolatoren om het tafelblad binnen 0.5 mm/m waterpas te brengen. Begin bij de hoeken en werk naar het midden om vervorming van het frame te voorkomen.

Veelgemaakte fout: een hoek te strak aandraaien, waardoor de tafel kan kromtrekken. Controlepunt: een precisiewaterpas die op de tafel in zowel X- als Y-richting wordt geplaatst, mag minder dan een halve bel afwijking vertonen.

Optische houders en componenten uitlijnen

Zodra de tafel waterpas staat, begint u met het monteren van uw optische componenten. Gebruik het raster van getapte gaten op de tafel om de houders te positioneren en draai de schroeven eerst met de hand aan. Lijn de optische as uit met behulp van een laser of een uitlijn-telescoop, waarbij u de houders iteratief aanpast. Let bij interferometrie extra op het referentieoppervlak en het te testen apparaat. Als u een Zegage ProHR gebruikt, kunnen het gemotoriseerde XYZ-stadium en de handmatige kanteling/verdraaiing de fijne uitlijning vereenvoudigen.

Veelgemaakte fout: een houder in een verkeerd uitgelijnd gat forceren, waardoor schroefdraad kan worden beschadigd. Controlepunt: de bundel moet over de volledige verplaatsing van het stadium gecentreerd op het doel blijven.

Fijnafstelling van de trillingsisolatie

Als uw tafel pneumatische isolatoren gebruikt, stel dan de luchtdruk af om de tafel op zijn nominale hoogte te brengen. De meeste isolatoren hebben een nivelleerklep die de hoogte automatisch handhaaft; controleer of de tafel weer waterpas staat na een zachte duw. Volg voor actieve isolatiesystemen de opstartprocedure van de fabrikant. Laat het systeem minimaal 30 minuten stabiliseren voordat u gaat meten.

Veelgemaakte fout: de druk te hoog instellen, waardoor de tafel kan gaan driften. Controlepunt: de tafel moet binnen enkele seconden tot rust komen na een lichte duw, zonder continue oscillatie.

Controleer de stabiliteit van de interferometer

Stel uw interferometer in en meet de stabiliteit van de interferentieranden gedurende 5–10 minuten. Een stabiele opstelling moet minimale randdrift vertonen (minder dan één rand per minuut voor de meeste toepassingen). Als de drift overmatig is, controleer dan op luchtstromen, temperatuurgradiënten of trillingen van de vloer. Gebruik de 1.064 μm Verifire-interferometer met een opening van 6 inch voor metingen met hoge resolutie; de gecodeerde zoom en focus helpen de uitlijning tijdens het testen te behouden.

Veelgemaakte fout: meten direct na installatie vóór thermisch evenwicht. Controlepunt: herhaal de meting na 24 uur; de stabiliteit zou moeten verbeteren naarmate het systeem tot rust komt.

Installatie- en uitlijningsstappen

1. Locatie voorbereiden: Plaats de tafel op een stevige, vlakke vloer, weg van trillingsbronnen. Zorg voor minimaal 60 cm vrije ruimte aan alle zijden. Controlepunt: de vloer mag geen trillingen doorgeven wanneer erop wordt gelopen.
2. Grove waterpassing: Stel de isolatoren of voeten af om de tafel binnen 0.5 mm/m waterpas te brengen, werkend van de hoeken naar het midden. Controlepunt: het precisieniveau wijkt minder dan een halve bel af.
3. Optische uitlijning: Monteer en lijn optische componenten uit met behulp van het gatengrid van de tafel, te beginnen met vingervast aangedraaide schroeven. Controlepunt: de bundel blijft gecentreerd over de volledige verplaatsing van het platform.
4. Isolator afstemmen: Stel de luchtdruk of actieve isolatieparameters zo in dat de tafel na een zachte duw weer waterpas komt. Controlepunt: de tafel stabiliseert binnen enkele seconden zonder oscillatie.
5. Stabiliteitscontrole: Meet de fringe-drift met een interferometer gedurende 5–10 minuten; herhaal na 24 uur. Controlepunt: drift van minder dan één fringe per minuut voor de meeste toepassingen.

Productgegevens

• 1.064 µm Verifire-interferometer met 6 inch opening: 1.064 µm Verifire-interferometer met 6 inch opening, gecodeerde zoom en focus, SKU SSR VF-1064-6-1. Biedt een stabiele, hoge-resolutie meetreferentie voor het verifiëren van de tafelisolatieprestaties.
• Zegage ProHR: De Zegage ProHR omvat een gemotoriseerd XYZ-stadium (100 × 100 mm), handmatige kantel-/kantelfunctie (±4°), 10x- en 50x-objectieven en een nieuwe systeemcontroller met Win 11- en Mx-software. Het gemotoriseerde stadium en de kantelfunctie vereenvoudigen de nauwkeurige uitlijning van monsters op de isolatietafel.
• 88 nm stapstandaard met ZYGO-certificering: 88 nm stapstandaard met ZYGO-certificering, SKU 6300-0917-01, afkomstig van een ISO 17025-gecertificeerd laboratorium. Kan worden gebruikt als referentie-artefact om de systeemkalibratie na installatie en uitlijning te controleren.