Verifire HDX vs MST: 어떤 간섭계가 적합할까?
By Zygo | Published: 2026-10-15
Category: 비교
Verifire HDX와 MST를 조리개, 줌, 인증 측면에서 비교하세요. 귀사의 테스트 요구 사항과 예산에 맞는 Zygo 간섭계를 확인해 보세요.
빠른 답변
유연한 고해상도 테스트를 위해 인코딩된 줌과 포커스를 갖춘 6인치 구경이 필요하다면 Verifire HDX를 선택하세요. 작업이 주로 소형 광학 부품에 집중되어 있고 컴팩트하고 비용 효율적인 간섭계를 원한다면 Verifire MST를 선택하세요. 어느 쪽이 절대적으로 더 우수하다고 할 수는 없습니다. 올바른 선택은 부품 크기, 필요한 해상도, 인증된 기준 표준이 필요한지 여부에 따라 달라집니다.
측정에 영향을 미치는 주요 차이점
가장 눈에 띄는 차이는 구경입니다. Verifire HDX는 6인치 구경을 제공하여 스티칭 없이 한 번에 더 큰 광학 부품을 테스트할 수 있습니다. Verifire MST는 일반적으로 더 작은 구경을 가지므로 소형 부품에 적합하지만 더 큰 부품의 경우 스티칭이 필요할 수 있습니다.
줌 및 포커스 제어도 다릅니다. HDX에는 인코딩된 줌과 포커스가 포함되어 있어 시스템이 전자적으로 줌 및 포커스 위치를 보고하고 재현할 수 있습니다. 이는 반복 가능한 설정과 자동화된 레시피에 유용합니다. MST는 수동 조정에 의존할 수 있으며, 이는 소량 작업에는 괜찮지만 생산 테스트에는 더 느립니다.
인증 및 추적성 옵션
품질 시스템에 추적 가능한 교정이 필요한 경우, Zygo는 ZYGO 인증이 포함된 88nm 스텝 표준과 같은 인증된 기준 표준을 제공합니다. 이 스텝 표준은 ZYGO 인증과 함께 제공되며 ISO 17025 인증 실험실과 연계됩니다. 두 간섭계 모델의 성능을 검증하는 데 사용할 수 있지만 별도 구매 품목입니다.
HDX와 MST 모두 Zygo의 간섭계 플랫폼에 의존하지만, 인증된 액세서리 및 예비 부품의 가용성은 다를 수 있습니다. 예를 들어, Verifire USB3 카메라 어셈블리는 제대로 설치하려면 인증된 Zygo 필드 서비스 엔지니어가 필요한 예비 부품입니다. 이는 소유 계획에 서비스 접근성을 고려해야 한다는 점을 상기시켜 줍니다.
어떤 모델이 작업장의 워크플로우에 맞을까요?
소형 및 중형 광학 부품을 혼합하여 테스트하는 작업장의 경우, HDX의 6인치 구경과 인코딩된 줌은 여유 공간과 자동화 친화적인 기능을 제공합니다. 부품이 지속적으로 작고 물량이 적다면 MST로 충분하고 더 경제적일 수 있습니다.
향후 필요 사항을 고려하세요: 더 큰 부품을 추가하거나 테스트를 자동화할 계획이라면 HDX의 인코딩된 축이 설정 시간을 절약해 줄 수 있습니다. 측정값을 인증해야 한다면 인증된 스텝 표준을 계획하고 카메라 또는 주요 어셈블리 교체를 위해 Zygo 필드 서비스에 접근할 수 있는지 확인하세요.
한눈에 보는 장단점
- 구경 크기: HDX: 더 큰 광학 부품용 6인치 구경; MST: 소형 부품에 적합한 더 작은 구경. 몇 인치보다 큰 부품을 정기적으로 테스트한다면 HDX는 스티칭을 피할 수 있습니다.
- 줌 및 포커스 제어: HDX: 반복 가능하고 프로그래밍 가능한 설정을 위한 인코딩된 줌 및 포커스; MST: 수동 조정이 필요할 수 있음. 자동화 또는 높은 처리량을 위해서는 HDX를, 수동 소량 작업에는 MST를 선택하세요.
- 인증 및 서비스: 두 모델 모두 88nm 스텝 표준과 같은 인증된 표준을 사용할 수 있습니다. 카메라 교체에는 Zygo 필드 서비스가 필요합니다. 두 모델 모두 인증 표준 비용과 서비스 접근성을 고려하세요.
제품 정보
- 1.064 µm Verifire 간섭계, 6인치 구경: ZYGO 1.064 μm Verifire 간섭계(6인치 구경)는 인코딩된 줌과 포커스와 함께 제공됩니다. 인코딩된 줌과 포커스는 반복 가능하고 프로그래밍 가능한 설정을 가능하게 하며, 이는 자동화 또는 다품종 테스트에 유용합니다.
- ZYGO 인증 88nm 스텝 표준: ZYGO 인증 88nm 스텝 표준은 SKU 6300-0917-01으로 공급되며 ISO 17025 인증 실험실과 연계됩니다. 이 표준은 간섭계에 대한 추적 가능한 검증을 제공하여 품질 감사 및 교정 요구 사항을 지원합니다.
- Verifire USB3 카메라 어셈블리: Verifire USB3 카메라 어셈블리는 제대로 설치하려면 인증된 Zygo 필드 서비스 엔지니어가 최소 5시간 필요합니다. 가동 중단을 방지하고 올바른 기능을 보장하려면 카메라 업그레이드 또는 교체를 계획할 때 전문 설치 비용을 예산에 포함하세요.
적합성 가이드
추천 대상
- 최대 6인치까지 다양한 부품 크기를 테스트하는 작업장
- 반복 가능하고 자동화된 설정이 필요한 생산 환경
- 스텝 표준을 통한 추적 가능한 인증이 필요한 실험실
추천하지 않는 대상
- 엄격히 소형 광학 부품만 취급하고 자동화 요구가 최소인 작업장
- 인코딩된 축이 필요 없고 예산이 빠듯한 구매자
- 카메라 설치를 위해 Zygo 필드 서비스에 접근할 수 없는 경우


