정확한 교정을 위한 SiC 정밀 기준 평면 설정
By Zygo | Published: 2026-10-23
Category: 사용 방법 가이드
안정적인 간섭계 교정을 위해 SiC 정밀 기준 평면을 설정하는 방법을 알아보세요. 이 가이드는 취급, 청소 및 정렬 단계를 다룹니다.
빠른 답변
SiC 정밀 기준 평면을 이소프로필 알코올로 세척하고, 안정적인 표면에 놓은 후 간섭계 빔 경로에 수직으로 정렬합니다.
교정에 SiC 정밀 기준 평면이 중요한 이유
탄화규소(SiC)는 높은 강성과 열적 안정성을 제공하여 정밀 기준 평면에 이상적입니다. 50 mm 직경은 표준 간섭계 마운트에 적합하며, 평탄도는 신뢰할 수 있는 교정 결과를 보장합니다.
피해야 할 일반적인 실수
광학 표면을 맨손으로 만지지 마십시오. 유분이 평탄도를 저하시킬 수 있습니다. 표면에 압축 공기를 사용하지 마십시오. 이물질이 쌓일 수 있습니다. 물자국을 방지하기 위해 장착 전에 기준 평면이 완전히 건조되었는지 확인하십시오.
SiC 정밀 기준 평면 설정 단계별 가이드
- 기준 평면 청소: 이소프로필 알코올로 적신 보푸라기가 없는 천으로 표면을 부드럽게 닦습니다. 자국을 방지하기 위해 연속적인 한 방향으로 닦으십시오. 진행하기 전에 밝은 빛 아래에서 먼지가 있는지 확인하십시오.
- 기준 평면 장착: SiC 기준 평면을 간섭계 마운트 또는 홀더에 삽입합니다. 응력을 피하기 위해 고정 링을 고르게 조이십시오. 과도하게 조이면 기준 평면이 휠 수 있습니다. 손가락으로 조이는 정도면 충분합니다.
- 기준 평면 정렬: 기준 평면을 간섭계 빔에 수직으로 배치합니다. 반사 빔이 검출기 중앙에 올 때까지 틸트 노브를 조정합니다. 정확한 중심 맞춤을 위해 간섭계의 정렬 도구 또는 소프트웨어를 사용하십시오.
- 교정 확인: 교정 측정을 실행하고 결과를 기준 평면의 알려진 기준값과 비교합니다. 편차가 허용 오차를 초과하면 반복합니다. 향후 참조를 위해 측정값을 기록합니다.
제품 정보
- SiC 정밀 기준 평면, 직경 50 mm.: SiC 정밀 기준 평면은 직경 50 mm이며 탄화규소로 제작되었습니다. 크기는 표준 간섭계 마운트에 적합하며, SiC 재질은 반복 가능한 교정을 위한 우수한 열적 안정성을 제공합니다.

SiC 정밀 기준 평면, 직경 50 mm.
