Michelson 대물렌즈와 투과 플랫 결합
By Zygo | Published: 2026-11-02
Category: 팁 및 관리
2.75X, 0.08NA Michelson 대물렌즈와 33mm Dynaflect 트랜스미션 플랫을 결합하는 단계별 루틴으로, 나사산 및 파포컬 점검부터 정렬과 취급까지 안내합니다.
빠른 답변
플랫을 만지기 전에 대물렌즈와 마운트를 먼저 맞추십시오. 2.75X의 0.08NA Michelson 대물렌즈의 M25 나사산과 60mm 파포컬 길이가 사용 중인 터렛에 적합한지 확인한 다음, 33mm Dynaflect 투과 플랫을 도입하고 대물렌즈가 제자리에 장착되고 깨끗한 상태가 된 후에만 정렬하십시오.
두 액세서리를 이 순서로 확인하는 이유
대물렌즈는 배율과 개구수를 결정하고, 투과 플랫은 기준면 품질을 결정합니다. 대물렌즈가 올바른 파포컬 높이에 장착되지 않으면 이후의 모든 플랫 조정은 잘못된 문제를 보상하게 됩니다. 그래서 나사산 적합성과 파포컬 길이를 먼저 확인하고, 플랫 정렬은 그다음에 합니다.
33mm Dynaflect 평면은 Dynaflect 코팅이 적용된 1/20 파장, PV로 규격화되어 있습니다. 이 표면 수치는 평면이 깨끗하고 올바르게 정렬된 경우에만 도움이 됩니다. 지문이나 기울어진 마운트는 1/20 파장 수치가 중요해지기 훨씬 전에 측정을 좌우합니다.
이 조합이 잘못된 선택일 때
0.08NA 대물렌즈는 빛을 적게 모으고 더 높은 NA 옵션보다 미세한 디테일을 덜 적극적으로 분해하므로, 고해상도 검사보다는 정렬 및 전체 확인 작업에 적합합니다. 작업에 더 좁은 측면 분해능이 필요하다면 이 대물렌즈는 업그레이드가 아니라 타협입니다.
33mm Dynaflect 플랫은 표면 사양을 반영한 가격의 코팅된 기준 액세서리입니다. 거친 설정이나 교육에는 작업용 플랫을 사용하고, 이 제품은 최종 기준 확인용으로 보관하십시오. 두 제품 기록 모두 환경 제한이나 세척 용제를 명시하지 않으므로, 부드러운 건식 취급을 넘어서는 절차를 사용하기 전에 Zygo에 확인하십시오.
단계별 페어링 절차
- 장착 전에 나사산과 파포컬 맞춤을 확인하십시오: 터렛 또는 마운트가 M25 나사산을 수용하는지, 그리고 60mm의 파포컬 길이가 노즈피스의 다른 대물렌즈와 일치하는지 확인하세요. 나사산 결합은 반드시 손으로 확인하고 절대 힘을 가하지 마세요. 흔한 실수: 마운트가 M25라고 확인하지 않고 가정하여 대물렌즈 나사산을 어긋나게 하는 것입니다. 대물렌즈가 손으로 돌아가지 않으면 멈추고 마운트 사양을 확인하세요.
- 먼저 대물렌즈를 점검하고 청소하세요: 설치 전에 전면과 후면을 빛 아래에서 확인하세요. 묻은 먼지는 부드러운 에어 블로어로 제거하고, 마른 표면을 닦지 마세요. 흔한 실수: 대물렌즈에 먼지가 남아 있는 상태에서 평면을 청소하여 먼지가 그 위에 쌓이게 하는 것입니다. 대물렌즈에서 바깥쪽으로 청소하세요. 반대 방향이 아닙니다.
- 대물렌즈를 장착하고 포커스 이동 범위를 확인하세요: 대물렌즈를 끝까지 완전히 조인 다음, 스테이지가 정상 범위 전체에서 여전히 초점에 도달하는지 확인하세요. 포커스 이동 범위가 부족하면 이 마운트에 대한 파포컬 높이가 잘못된 것입니다. 흔한 실수: 대물렌즈 장착을 바로잡지 않고 플랫의 기울기로 보정하는 것입니다. 대물렌즈를 장착한 후에도 포커스 이동 범위는 편안하게 유지되어야 합니다.
- 투과 부품을 평평하게 놓고 방향을 확인하십시오: 33mm Dynaflect 평면을 홀더에 평평하게 장착하고, 설정 요구 사항에 따라 코팅된 표면이 빔 경로를 향하는지 확인하십시오. 부드럽게 삽입하고 홀더가 가장자리를 눌러 조이지 않는지 확인하십시오. 흔한 실수: 고정 링을 과도하게 조이면 광학 부품에 응력이 가해질 수 있습니다. 평면은 고정하여 잡아야 하며, 조여서는 안 됩니다.
- 낮은 결맞음 또는 감소된 강도에서 평면을 정렬하십시오: 평면을 살짝 기울인 상태에서 시작해 무늬가 나타날 때까지 가져간 다음 기울기와 위치를 미세 조정하세요. 흔한 실수: 작은 조정으로 충분한데 마운트를 크게 움직이며 무늬를 쫓는 것입니다. 무늬가 안정되지 않으면 평면을 다시 움직이기 전에 대물렌즈의 장착 상태를 다시 확인하세요.
- 작업 위치를 기록하고 두 부품을 깨끗하게 보관하세요: 평면의 마운트 위치와 대물렌즈의 터렛 슬롯을 기록해 두면 다음 작업을 알려진 지점에서 시작할 수 있습니다. 덮개를 씌운 상태로 각각의 케이스에 다시 넣으세요. 흔한 실수: 작업 사이에 평면을 벤치 위에 노출된 채로 두는 것입니다. 저장된 위치를 사용하면 다음 정렬 세션 시간을 절약할 수 있습니다.
제품 사양
- 2.75X, 0.08NA 마이컬슨 대물 렌즈: 배율 2.75X, 0.08NA, M25 나사산, 파포컬 길이 60mm. 나사산과 파포컬 수치는 다른 위치의 초점을 다시 맞추지 않고 대물 렌즈를 터렛에 장착할 수 있는지 결정합니다.

2.75X, 0.08NA 마이컬슨 대물 렌즈 - 33mm Dynaflect 투과 플랫: 33mm Dynaflect 투과 플랫은 1/20 파장, PV, Dynaflect 코팅 사양입니다. 1/20 파장의 표면 형상은 고객님이 보호해야 할 기준 품질이므로, 취급과 정렬에는 가격이 시사하는 것보다 더 많은 주의가 필요합니다.

33mm Dynaflect 투과 플랫

