측면 교정 표준: 계측에서의 역할

빠른 답변

측면 교정 표준은 광학 프로파일러 또는 간섭계의 측면(X-Y) 측정 정확도를 검증하는 데 사용되는 알려진 치수의 물리적 아티팩트입니다. Zygo 측면 교정 표준은 일상적인 스케일 점검을 위한 간단하고 인증되지 않은 기준을 제공합니다.

측면 측정 오류 진단

• 증상: 측정된 특징 너비 또는 거리가 예상 값과 일치하지 않습니다. 표면 지도에서 한 방향으로 일관된 늘어남 또는 압축이 나타납니다.
• 가능한 원인: 잘못된 픽셀 스케일링, 스테이지 교정 드리프트 또는 광학 배율 오류. XY 측정 체인이 기준을 잃었습니다.
• 시정 조치: Zygo 측면 교정 표준을 스테이지에 놓고 밀리미터 눈금자에 초점을 맞춘 다음 알려진 간격(예: 1 mm)을 측정합니다. 측정값을 예상값과 비교합니다. 오차가 허용 오차를 초과하면 MetroPro에서 기기의 측면 교정 계수를 조정하거나 Zygo 지원팀에 문의하십시오. 측정된 오차와 날짜를 기록합니다. 드리프트를 추적하기 위해 매주 반복합니다.
• 중단하거나 다른 옵션을 선택해야 하는 경우: 애플리케이션에 ISO 17025 추적 가능성 또는 문서화된 교정 인증서가 필요한 경우, 인증되지 않은 Zygo 측면 교정 표준으로는 충분하지 않습니다. 이 경우 추적 가능한 교정 보고서가 포함된 인증된 측면 표준을 사용하십시오. 감사 수준의 추적 가능성을 위해 인증된 표준에 투자하고 교정 인증서를 파일로 보관하십시오.

제품 정보

• 측면 교정 표준: ZYGO 측면 교정 표준은 밀리미터 눈금자가 인쇄된 기본적이고 인증되지 않은 현미경 슬라이드입니다. Zygo 기기에서 측면 스케일 정확도를 검증하기 위한 간단하고 반복 가능한 기준을 제공하지만, 인증되지 않았으므로 규정 준수 목적으로 공식 교정 표준을 대체하지 않습니다.