Zygo 진동 절연 테이블 설치 및 정렬 방법

빠른 답변

Zygo 방진 테이블을 진동원에서 멀리 떨어진 견고하고 평평한 바닥에 설치한 후, 테이블을 수평으로 맞추고 광학 마운트를 정렬한 다음 절연체를 미세 조정하십시오. Zygo 간섭계(예: 6인치 개구부의 Verifire 1.064 μm)로 프린지 드리프트를 측정하여 안정성을 확인하십시오. 중요한 측정 전에 시스템이 24–48시간 동안 안정화되도록 하십시오.

현장 준비 및 테이블 점검

콘크리트 슬래브 위의 위치를 선택하세요. 이상적으로는 지상층이나 지하실에 두고, HVAC 장치, 엘리베이터, 통행이 많은 곳에서 멀리 떨어뜨리세요. 바닥이 평평하고 테이블과 페이로드를 지탱할 수 있는지 확인하세요. 테이블의 포장을 풀고 운송 중 손상이 없는지 검사하세요. 모든 아이솔레이터, 레벨링 밸브, 장착 구멍이 온전한지 확인하세요. 도구를 준비하세요: 정밀 레벨(0.02 mm/m 이상), 토크 렌치, 육각 렌치, 클린룸 호환 세제.

흔한 실수: 테이블을 현수식 목재 바닥이나 문 근처에 두는 것. 체크포인트: 바닥이 발 아래 단단하게 느껴지고 근처를 걸을 때 진동이 전달되지 않아야 합니다.

테이블을 배치하고 대략 수평을 맞추세요

테이블을 최종 위치에 놓고 모든 측면에 최소 60 cm의 접근 공간을 확보하세요. 테이블에 분리 가능한 아이솔레이터가 있는 경우 제조업체의 지침에 따라 설치하세요. 레벨링 풋 또는 아이솔레이터 높이 조절을 사용하여 테이블 상판을 수평 0.5 mm/m 이내로 맞추세요. 프레임이 비틀리지 않도록 모서리에서 시작하여 중앙으로 작업하세요.

흔한 실수: 한 모서리를 과도하게 조여 테이블이 휘는 경우가 있습니다. 확인 사항: 테이블 위에 X 및 Y 방향 모두에 정밀 수준기를 놓았을 때 기포 편차가 절반 미만이어야 합니다.

광학 마운트 및 구성 요소 정렬

테이블이 수평이 되면 광학 부품 장착을 시작합니다. 테이블의 탭 구멍 그리드를 사용하여 마운트를 배치하고 먼저 손으로 나사를 조입니다. 레이저 또는 정렬 망원경을 사용하여 광축을 정렬하고 마운트를 반복적으로 조정합니다. 간섭계의 경우 기준 표면과 피시험 장치에 특히 주의하십시오. Zegage ProHR을 사용하는 경우 모터 구동 XYZ 스테이지와 수동 틸트/틸트로 미세 정렬을 단순화할 수 있습니다.

일반적인 실수: 정렬되지 않은 구멍에 마운트를 억지로 밀어 넣으면 나사산이 손상될 수 있습니다. 체크포인트: 빔은 스테이지의 전체 이동 범위에서 타겟의 중심을 유지해야 합니다.

진동 절연 미세 조정

테이블이 공압식 아이솔레이터를 사용하는 경우 공기압을 조정하여 테이블을 공칭 높이로 맞추십시오. 대부분의 아이솔레이터에는 높이를 자동으로 유지하는 레벨링 밸브가 있습니다. 가볍게 밀었을 때 테이블이 수평으로 돌아오는지 확인하십시오. 능동형 절연 시스템의 경우 제조업체의 시작 절차를 따르십시오. 측정 전에 시스템이 최소 30분 동안 안정화되도록 하십시오.

일반적인 실수: 압력을 너무 높게 설정하면 테이블이 드리프트할 수 있습니다. 확인 사항: 가볍게 밀었을 때 테이블이 몇 초 내에 안정되고 지속적인 진동이 없어야 합니다.

간섭계 안정성 확인

간섭계를 설정하고 5~10분 동안 프린지 안정성을 측정합니다. 안정적인 설정은 최소한의 프린지 드리프트(대부분의 애플리케이션에서 분당 1프린지 미만)를 보여야 합니다. 드리프트가 과도한 경우 기류, 온도 구배 또는 바닥 진동을 확인하십시오. 고해상도 측정을 위해 1.064μm Verifire 간섭계(구경 6인치)를 사용하십시오. 인코딩된 줌과 포커스는 테스트 중 정렬 유지에 도움이 됩니다.

일반적인 실수: 열평형에 도달하기 전에 설치 직후 측정하는 것입니다. 체크포인트: 24시간 후에 측정을 반복하십시오. 시스템이 안정화됨에 따라 안정성이 개선되어야 합니다.

설치 및 정렬 단계

1. 설치 장소 준비: 진동원에서 떨어진 단단하고 평평한 바닥에 테이블을 놓습니다. 모든 측면에 최소 60cm의 여유 공간을 확보하십시오. 확인 사항: 바닥을 걸을 때 진동이 전달되지 않아야 합니다.
2. 대략적인 수평 맞추기: 절연체 또는 받침대를 조정하여 테이블을 수평도 0.5mm/m 이내로 맞추되, 모서리에서 중앙으로 작업하십시오. 체크포인트: 정밀도 수준이 기포 절반 미만의 편차를 보여줍니다.
3. 광학 정렬: 테이블의 구멍 그리드를 사용하여 광학 부품을 장착하고 정렬하되, 손으로 조이는 나사부터 시작하십시오. 체크포인트: 스테이지 전체 이동 범위에서 빔이 중앙에 유지됩니다.
4. 아이솔레이터 튜닝: 에어 압력 또는 능동 절연 파라미터를 설정하여 테이블이 가볍게 밀린 후 수평으로 돌아오도록 합니다. 확인 지점: 테이블이 몇 초 내에 진동 없이 안정됩니다.
5. 안정성 확인: 간섭계를 사용하여 5–10분 동안 프린지 드리프트를 측정합니다. 24시간 후에 반복합니다. 확인 지점: 대부분의 애플리케이션에서 드리프트가 분당 1프린지 미만입니다.

제품 정보

• 1.064 µm Verifire 간섭계, 6 인치 조리개: 1.064 µm Verifire 간섭계, 6 인치 조리개, 인코딩된 줌 및 포커스, SKU SSR VF-1064-6-1. 테이블 절연 성능 검증을 위한 안정적이고 고해상도의 측정 기준을 제공합니다.
• Zegage ProHR: Zegage ProHR에는 모터 구동 XYZ 스테이지(100 × 100 mm), 수동 틸트/경사(±4°), 10x 및 50x 대물렌즈, Win 11 및 Mx 소프트웨어가 포함된 새로운 시스템 컨트롤러가 포함됩니다. 모터 구동 스테이지와 틸트/경사 기능은 절연 테이블에서 샘플의 미세 정렬을 간소화합니다.
• 88 nm 스텝 표준 (ZYGO 인증 포함): 88 nm 스텝 표준 (ZYGO 인증 포함), SKU 6300-0917-01, ISO 17025 인증 실험실 제품. 설치 및 정렬 후 시스템 교정을 확인하는 기준 물질로 사용할 수 있습니다.