대구경 테스트용 빔 확장기 선택 방법
By Zygo | Published: 2026-10-19
Category: 구매 가이드
대구경 간섭계에 적합한 빔 확장기를 선택하려면 조리개 크기, 파면 품질, 위상 이동 방식을 일치시켜야 합니다. 이 가이드에서는 실용적인 결정 규칙과 장단점을 제공합니다.
빠른 답변
대구경 테스트를 위해서는 출력 조리개가 검사할 광학 부품의 유효 조리개와 일치하고, 파면 품질이 측정 허용 오차를 충족하며, 위상 이동 방식이 간섭계와 호환되는 빔 확장기를 선택하십시오.
조리개 크기가 첫 번째 결정을 좌우합니다
빔 확장기의 출력 조리개는 검사 대상 광학 부품보다 최소한 같거나 커야 합니다. 확장기가 너무 작으면 빔이 잘려 회절 아티팩트가 발생합니다. 너무 크면 비용과 부피만 증가할 뿐 이점이 없습니다. 가장 큰 테스트 부품의 유효 조리개를 측정하고 정렬 공차를 고려하여 일반적으로 10-20%의 여유를 추가하십시오.
파면 품질 대 예산
고정밀 간섭계는 파면 오차가 λ/10 이하인 빔 확장기가 필요합니다. 사양이 낮은 확장기(λ/4)는 현장 합격/불합격 테스트에 사용할 수 있지만 절대 정확도가 제한됩니다. 파면 품질과 비용을 절충하십시오. 정밀 확장기는 표준 버전보다 몇 배 더 비쌀 수 있습니다.
필요한 파면에 대해 확신이 없다면, 후보 확장기를 사용하여 먼저 알려진 평면 기준을 테스트하십시오. 측정된 오차는 확장기의 기여도를 드러냅니다.
기계식 위상 이동 고려 사항
기계식 위상 이동(MPS)은 모터 구동 스테이지를 사용하여 기준 미러를 이동시키며, 분석에 필요한 위상 단계를 생성합니다. 이 방식은 견고하고 대부분의 간섭계와 호환되지만, 진동의 잠재적 원인이 될 수 있으며 주의 깊은 교정이 필요합니다.
대구경 확장기의 경우 이동 질량이 더 크므로 MPS 스테이지도 그에 맞게 크기가 조정되어야 합니다. ZYGO 18" 빔 확장기-기계식 위상 이동(SKU 6068-0471-12)은 이를 염두에 두고 설계되었지만, 간섭계의 제어 전자 장치가 MPS 구동 전압과 커넥터 유형을 지원하는지 확인하십시오.
빔 확장기 선택을 위한 결정 규칙
- 규칙 1: 조리개를 가장 큰 테스트 부품에 맞추십시오: 가장 큰 광학 부품의 유효 조리개를 측정하십시오. 출력 조리개가 최소 10% 더 큰 빔 확장기를 선택하십시오. 예를 들어, 가장 큰 부품이 16인치인 경우 18인치 확장기(ZYGO 18" 모델 등)가 충분한 여유를 제공합니다. 확장기 조리개보다 작은 부품을 테스트한다면 사용하지 않는 용량에 비용을 낭비하는 것입니다.
- 규칙 2: 측정 유형에 따라 파면 품질을 선택하십시오: 절대 측정(예: 기준 구 교정)의 경우 λ/10 이상을 선택하십시오. 비교 테스트(예: 생산 합격/불합격)의 경우 λ/4이면 충분한 경우가 많습니다. 확실하지 않은 경우 확장기의 파면 사양을 시스템 오차 예산 항목으로 사용하십시오.
- 규칙 3: 위상 이동 호환성을 확인하십시오: 간섭계가 확장기의 위상 이동 방식을 지원하는지 확인하십시오. 기계식 위상 이동에는 호환되는 구동 인터페이스와 소프트웨어 제어가 필요합니다. ZYGO 18" 빔 확장기는 기계식 위상 이동을 사용합니다. 컨트롤러가 이를 구동할 수 있는지 확인하십시오. 구매 전에 간섭계 모델을 제조업체에 알려 호환성을 확인하십시오.
제품 하이라이트
- 18" 빔 확장기-기계식 위상 이동: ZYGO 18" 빔 확장기-기계식 위상 이동(SKU 6068-0471-12)은 대구경 간섭계를 위한 표준 기계식 위상 이동 설계를 제공합니다. 이 확장기는 최대 18인치 광학 부품 테스트를 위해 특별히 제작되었으며, ZYGO 간섭계 설정에 직접 통합되는 기계식 위상 시프터가 포함되어 있습니다.
18" 빔 확장기-기계식 위상 이동
이 접근 방식을 사용해야 하는 대상
적합한 대상
- 대구경(≥12인치) 테스트를 위해 간섭계를 설정하는 광학 엔지니어
- 빔 확장기 사양을 측정 불확도 예산에 맞춰야 하는 품질 연구소
적합하지 않은 대상
- 소형 광학 부품(6인치 미만)만 테스트하고 기계식 위상 이동 없이 표준 빔 확장기를 사용할 수 있는 사용자
