차동 평면 미러 간섭계: DPMI 작동 방식

간단한 답변

차동 평면 거울 간섭계(DPMI)는 하나의 레이저 빔을 두 개의 경로로 분할하여 각각 별도의 평면 거울에서 반사시킨 뒤 다시 결합함으로써 간섭 신호가 두 경로 간의 차이를 나타내도록 합니다. 설정 시에는 먼저 두 기준 거울을 정의하고, 각 반사 빔을 독립적으로 정렬한 다음, 마지막으로 차동 판독값을 영점 조정하십시오.

DPMI 설정 순서

1. 무엇이든 장착하기 전에 측정을 정의하십시오: 각도 기준 미러가 필요한지 변위 기준 미러가 필요한지 결정하고, 어느 표면이 대상이고 어느 표면이 기준인지 기록하십시오. 흔한 실수: 측정에 필요한 것이 아니라 이미 벤치에 있는 것을 기준으로 기준 미러를 선택하는 것입니다. 답이 모호하다면 잠시 멈추고 진행하기 전에 Zygo와 구성을 확인하십시오.
2. 두 기준 미러를 견고하고 독립적으로 장착하십시오: 기준 거울과 평면 거울 타깃을 유연 부재를 공유하지 않는 마운트에 부착하십시오. 각 마운트가 다른 마운트를 방해하지 않고 조정될 수 있는지 확인하십시오. 흔한 실수: 두 거울을 동일한 얇은 판에 고정하면 움직임이 결합되어 차동 측정이 무력화됩니다. 조인 후 각 마운트를 가볍게 눌러 보십시오. 눈에 보이는 움직임이 있으면 해당 마운트는 계측 준비가 되지 않은 것입니다.
3. 간섭계 헤드를 타깃 경로에 대해 수평 및 직각으로 맞추십시오: 측정 빔이 이동 범위의 중심 근처에서 평면 거울 타깃에 닿고 스테이지 전 범위에서 개구부를 통해 되돌아오도록 헤드를 설정하십시오. 흔한 실수: 시작 위치에서만 정렬한 후 이동 끝에서 복귀 빔을 잃는 것입니다. 무엇이든 고정하기 전에 스테이지를 전체 범위에 걸쳐 움직이십시오.
4. 각 리턴 빔을 개별적으로 정렬하고 라벨을 붙이십시오: 한 번에 하나의 경로를 차단하고 다른 리턴을 해당 검출기 또는 카메라 위치로 유도하십시오. 헤드에서 어느 리턴이 대상 경로이고 어느 것이 기준 경로인지 표시하십시오. 흔한 실수: 두 리턴을 동시에 조정하여 정렬이 어긋난 기준을 잘 중심된 대상으로 착각하는 것입니다. 프린지를 관찰하기 전에 두 리턴 모두 중심이 맞고 안정적이어야 합니다.
5. 무늬를 관찰하고 차동 응답을 확인하십시오: 두 경로를 모두 연 상태에서 깨끗한 무늬를 확인한 다음, 의도적으로 대상 미러만 알려진 작은 양만큼 이동하십시오. 무늬 수가 변해야 합니다. 기준 미러만 이동해도 무늬 수가 변해야 하며, 이는 두 경로가 모두 활성 상태임을 확인해 줍니다. 흔한 실수: 두 미러 어느 쪽에도 반응하지 않는 무늬를 받아들이는 것으로, 이는 보통 한쪽 경로가 차단되었음을 의미합니다. 미러 하나만 판독값을 변화시킨다면, 한쪽 반사 빔이 간섭계에 도달하지 않는 것입니다.
6. 시스템이 열 평형에 도달하도록 둔 다음 영점을 맞추십시오: 시스템에 필요한 예열 기간 동안 레이저와 스테이지를 작동시키고, 차동 판독값의 드리프트를 관찰한 다음에야 영점을 설정하십시오. 흔한 실수: 전원을 켠 직후 영점을 설정하여 예열 드리프트가 이후 모든 판독값에 반영되는 경우입니다. 영점 설정 전에 드리프트 비율을 기록하십시오. 안정적인 판독값이 신뢰할 수 있는 영점의 전제 조건입니다.
7. 데이터를 수집하기 전에 반복 측정으로 확인하십시오: 타깃을 멀리 이동했다가 시작 위치로 되돌리고, 차동 판독값이 허용 오차 범위 내에서 영점으로 돌아오는지 확인하십시오. 흔한 실수: 영점 복귀 확인을 건너뛰고 긴 측정을 마친 뒤에야 백래시나 마운트 크리프를 발견하는 경우입니다. 판독값이 0으로 돌아오지 않으면 광학계를 조정하기 전에 마운트를 점검하십시오.

제품 사양

• 차동 평면 거울 간섭계: 평면 거울 타깃과 각도 또는 변위 기준 거울 중 하나와 함께 사용하도록 설계된 차동 평면 거울 간섭계입니다. 기준 거울의 선택에 따라 차동 판독값이 각도를 나타내는지 선형 변위를 나타내는지가 결정되므로 광학계를 장착하기 전에 이를 확정하십시오.