빔 확장기 구매 가이드: 조리개, 배율, 적합성
By Zygo | Published: 2026-10-16
Category: 구매 가이드
실용적인 빔 확장기 구매 가이드: 조리개, 배율 및 적합성에 대해 다룹니다. 구매 전에 Zygo 빔 확장기를 간섭계 본체에 맞추는 방법을 알아보세요.
빠른 답변
빔 확장기를 먼저 메인프레임에 맞춘 다음, 필요한 빔에 맞추십시오. Zygo 633 nm MST 시스템의 경우, 24 인치 고해상도 빔 확장기(BEX)가 직접 맞는 제품입니다. 모든 해상도 633 nm MST 메인프레임용으로 제작되었으며 프레임, 커버, 마운트가 포함되어 있기 때문입니다. 기존 HD 또는 DynaFiz 터렛만 구동하면 되는 경우, 고해상도 터렛 드라이버 보드가 더 간단한 예비 부품 구매입니다. 조리개와 배율 요구 사항이 더 큰 어셈블리를 정당화할 때만 확장기를 구매하십시오.
배율 숫자가 아닌 메인프레임부터 시작하세요
빔 확장기는 범용 액세서리가 아닙니다. Zygo 24 인치 고해상도 빔 확장기(BEX)는 모든 633 nm 해상도 MST 메인프레임과 호환되도록 지정되어 있으므로, 이 호환성 설명이 첫 번째 필터입니다. 메인프레임이 633 nm 해상도 MST 시스템이 아닌 경우, 원하는 배율과 관계없이 이 확장기는 올바른 시작점이 아닙니다.
BEX의 카탈로그 설명에는 덮개가 있는 확장기 프레임, 디콜리메이터 마운트, 콜리메이터 마운트, 대형 폴드 미러, 소형 플립 폴드 미러 및 액세서리 리셉터클이 나열되어 있습니다. 이는 확장기가 시스템으로 작동하도록 하는 기계 및 광학 부품입니다. 포함되지 않은 것에 유의하십시오: 간섭계 자체와 아이솔레이션 테이블, 2축 마운트 또는 TF와 같은 기타 액세서리. 아직 소유하고 있지 않다면 별도로 예산을 책정하십시오.
조리개와 배율: 실제로 변경되는 사항
조리개는 확장기가 클리핑 없이 통과시킬 수 있는 최대 빔을 설정합니다. 24인치 확장기는 대구경 시스템이므로, 여기서 예비 부품으로 판매되지만 대구경 시스템 논의에 포함됩니다. 빔이 작고 메인프레임이 더 작은 형식인 경우, 24인치 확장기는 비용과 정렬 노력만 추가할 뿐 측정을 개선하지 않습니다.
배율은 비율이지 독립적인 이점이 아닙니다. 더 높은 배율은 발산을 좁히고 빔을 더 넓은 영역에 퍼뜨려, 대구경을 채우거나 대형 광학계를 테스트해야 할 때 도움이 될 수 있습니다. 단점은 정렬이 더 민감해지고 어셈블리가 더 많은 공간을 차지한다는 것입니다. 제공된 카탈로그 정보에는 BEX의 배율 값이 나열되어 있지 않으므로, 배율은 제품 이름에서 숫자를 추측하지 말고 메인프레임 문서에서 확인해야 하는 사양으로 취급하십시오.
마운트, 미러, 그리고 사람들이 잊는 부품
BEX에는 디콜리메이터 마운트, 콜리메이터 마운트, 대형 폴드 미러, 소형 플립 폴드 미러, 액세서리 리셉터클이 포함됩니다. 각 구성 요소는 익스팬더가 기존 벤치와 통합되는 방식에 영향을 줍니다. 폴드 미러는 빔을 라우팅하고, 디콜리메이터 및 콜리메이터 마운트는 광학 부품을 고정하며, 액세서리 리셉터클은 추가 하드웨어를 부착할 수 있는 공간을 제공합니다.
간섭계, 절연 테이블, 2축 마운트 및 TF는 포함되어 있지 않으므로 주문 전에 나머지 광학 경로를 계획하십시오. 이미 Zygo 본체와 마운트를 보유하고 있다면 BEX가 익스팬더 역할을 수행합니다. 본체가 없는 경우 이는 완전한 측정 시스템이 아니며 그렇게 취급해서는 안 됩니다.
동일한 설정을 지원하는 예비 부품
빔 확장 설정을 유지보수할 때 Zygo 예비 부품 두 개가 더 나타납니다. 고해상도 터렛 드라이버 보드는 표준 SKU의 부품 코드 6450-8171-01로 HD 및 DynaFiz 터렛 시스템용으로 설계되었습니다. 터렛이 제대로 인덱싱되거나 구동되지 않으면 이 보드가 새 확장기보다 대상 교체품입니다.
Verifire MST 레이저 및 컨트롤러는 표준 SKU 6500-0714-01로 예비 부품에 나열되며 설명은 Toptica 레이저 어셈블리를 참조합니다. 633 nm MST 소스가 문제라면 레이저와 컨트롤러를 교체하면 소스가 해결되며 빔 확장 광학계는 해결되지 않습니다. 소스 결함과 확장기 결함을 분리하면 잘못된 어셈블리를 구매하지 않아도 됩니다.
빔 확장기 구매를 위한 결정 규칙
- 규칙 1: 메인프레임 호환성 라인을 확인하세요. BEX는 해상도 633 nm의 모든 MST 메인프레임과 호환되는 것으로 명시되어 있습니다. 메인프레임이 해당 제품군에 속하지 않는 경우, 주문 전에 중단하고 시스템에 맞는 올바른 확장기를 식별하십시오. 호환성이 첫 번째 관문이고, 배율이 두 번째입니다.
- 규칙 2: 실제 사용하는 빔에 맞게 조리개를 크기 조정하세요. 24인치 확장기는 대구경 작업에 적합합니다. 빔과 테스트 광학 장치가 작다면, 더 작은 확장기가 정렬하기 쉽고 소유 비용이 저렴합니다. 절대 채우지 않을 조리개를 구매하지 마십시오.
- 규칙 3: 소스 결함과 확장기 결함을 분리하십시오: 빔이 약하거나 불안정한 경우, 확장기를 탓하기 전에 Verifire MST 레이저와 컨트롤러를 확인하십시오. 터렛이 작동하지 않으면 고해상도 터렛 드라이버 보드를 확인하십시오. 먼저 고장 난 하위 시스템을 진단한 후, 그에 맞는 예비 부품을 구매하세요.
- 규칙 4: 상자에 포함되지 않은 부품을 고려하세요: BEX에는 간섭계, 절연 테이블, 2축 마운트, TF가 포함되지 않습니다. 작업대에 이미 없는 경우 계획에 추가하세요. 총 비용에는 익스팬더 주변의 지원 하드웨어가 포함됩니다.
제품 정보
- 24인치 고해상도 빔 확장기(BEX): 24인치 고해상도 빔 확장기(BEX)로, 모든 633 nm MST 메인프레임과 호환됩니다. 확장기 프레임(커버 포함), 디콜리메이터 마운트, 콜리메이터 마운트, 대형 폴드 미러, 소형 플립 폴드 미러, 액세서리 리셉터클이 포함되어 있습니다. 메인프레임이 633 nm MST 분해능 시스템인 경우 이 확장기를 선택하십시오. 포함된 마운트와 미러가 기계적 구성을 충족하기 때문입니다. 간섭계, 절연 테이블, 2축 마운트, TF는 포함되어 있지 않으므로, 이미 보유하고 있는지 확인하십시오.
- 고해상도 터렛 드라이버 보드: 고해상도 터렛 드라이버 보드는 HD 및 DynaFiz 터렛 시스템용으로 설계된 Zygo 예비 부품으로, 표준 SKU 및 부품 코드 6450-8171-01로 제공됩니다. HD 또는 DynaFiz 터렛이 고장난 부품인 경우 이 보드가 올바른 예비 부품입니다. 빔을 확장하지 않으므로 조리개 범위가 목표인 경우 BEX를 대체하지 않습니다.
- Verifire MST 레이저 및 컨트롤러: Verifire MST 레이저 및 컨트롤러, 예비 부품으로 등록, 표준 SKU 6500-0714-01, 설명은 Toptica 레이저 어셈블리를 참조합니다. 633 nm MST 소스 또는 컨트롤러에 문제가 있을 때 사용하십시오. 문제가 아닌 광학 부품을 교체하는 대신 작동 중인 확장기를 유지합니다.
어떤 제품을 구매해야 하는지
최적 대상
- 633 nm MST 해상도 메인프레임을 보유하고 있으며 마운트와 폴드 미러가 포함된 24인치 고해상도 빔 확장기가 필요한 사용자.
- 간섭계, 절연 테이블, 2축 마운트를 이미 갖추고 있어 확장기 어셈블리만 추가하면 되는 실험실.
- HD 또는 DynaFiz 터렛 사용자로서 고해상도 터렛 드라이버 보드를 특정 예비 부품으로 필요로 하는 경우.
해당 없음:
- 633 nm MST 해상도 제품군 외부의 메인프레임. 다른 확장기가 필요합니다.
- 간섭계, 절연 테이블, 2축 마운트 또는 TF를 보유하지 않고 BEX가 완전한 시스템이라고 기대하는 구매자.
- 24인치 조리개가 측정 이점 없이 정렬을 어렵게 만드는 소형 빔 설정.
