12" 빔 확장기 기계식 위상 변위 설정 가이드
By Zygo | Published: 2026-10-24
Category: 사용 방법 가이드
대구경 간섭계에서 기계적 위상 이동 기능이 있는 12인치 빔 확장기를 설정하기 위한 단계별 지침입니다. 정렬 팁과 일반적인 실수를 포함합니다.
빠른 답변
12" 빔 확장기를 기계적 위상 변이용으로 설정하려면 확장기를 안정적인 테이블에 고정하고, 멀티플렉서 큐브를 정렬한 후 위상 변이기를 간섭계의 기준 빔에 맞춰 보정하십시오.
기계적 위상 변이에서 설정 정밀도가 중요한 이유
기계적 위상 변이는 기준면의 정밀하고 반복 가능한 움직임에 의존합니다. 정렬이 잘못된 빔 확장기는 파면 오류를 유발하여 측정 정확도를 떨어뜨리며, 특히 대구경에서 더욱 그렇습니다. 12" 빔 확장기는 크기와 멀티플렉서 큐브를 지지하기 위해 4' x 10' x 1' 크기의 안정적인 테이블이 필요합니다.
동적 위상 변이와 달리 기계적 위상 변이는 기준면을 움직이기 위해 물리적 스테이지를 사용합니다. 따라서 확장기 마운트의 진동이나 기울기가 위상 단계에 직접 영향을 미칩니다. 구성품의 수평을 맞추고 고정하는 데 시간을 투자하면 더 깨끗한 간섭무늬를 얻을 수 있습니다.
단계별 설정 과정
- 광학 테이블 준비: 4' x 10' x 1' 크기의 테이블 공간을 확보하십시오. 표면이 수평이고 진동원이 없는지 확인하십시오. 제공된 볼트 패턴을 사용하여 빔 확장기 베이스 플레이트를 단단히 장착하십시오. 일반적인 실수: 더 작은 테이블을 사용하는 것. 멀티플렉서 큐브와 확장기는 케이블 장력과 정렬 불량을 피하기 위해 전체 공간이 필요합니다.
- 멀티플렉서 큐브 설치: 멀티플렉서 큐브를 확장기의 입력 포트에 부착하십시오. 간섭계의 빔이 올바른 각도(일반적으로 45도)로 들어가도록 큐브를 정렬하십시오. 고정 나사를 균일하게 조이십시오. 큐브의 출력면이 확장기 축과 평행한지 확인하십시오. 여기서 기울기가 발생하면 전체 다운스트림 정렬이 왜곡됩니다.
- 간섭계 연결: 간섭계(Verifire, Verifire HD/HDX 또는 Dynafiz)의 출력 빔이 멀티플렉서 큐브로 들어가도록 배치하십시오. 간섭계의 내장 정렬 레이저를 사용하여 빔을 큐브의 입력 조리개 중앙에 맞추십시오. 빔이 중앙에서 벗어나면 확장기가 파면을 잘라 회절 아티팩트를 유발합니다. 레이저 스폿이 중앙에 올 때까지 간섭계의 높이와 기울기를 조정하십시오.
- 기계적 위상 변이기 정렬: 위상 변이 스테이지를 기준면 마운트에 부착하십시오. 스테이지 컨트롤러를 간섭계의 위상 변이 트리거 출력에 연결하십시오. 짧은 스트로크 테스트(예: 5 단계)를 수행하여 부드럽고 반복 가능한 움직임을 확인하십시오. 들러붙거나 고르지 않은 스테이지는 위상 단계 오류를 발생시킵니다. 테스트 중 기계적 소음을 듣고 프린지 움직임이 균일하지 않은지 관찰하십시오.
- 위상 변이 보정: 간섭계 소프트웨어의 보정 루틴을 사용하여 실제 위상 단계 크기를 측정하십시오. 측정된 단계가 의도한 값(예: 90-버킷 알고리즘의 경우 단계당 4도)과 일치할 때까지 스테이지 구동 전압 또는 단계 수를 조정하십시오. 이 단계를 건너뛰지 마십시오. 기계식 스테이지는 온도에 따라 드리프트됩니다. 실험실 온도가 2°C 이상 변하면 다시 보정하십시오.
- 검증 측정 수행: 보정된 기준 평면을 테스트 빔에 배치하십시오. 전체 위상 변이 측정을 실행하고 결과를 알려진 표면 형상과 비교하십시오. RMS 편차는 간섭계의 지정된 반복성 이내여야 합니다. 편차가 크면 다른 구성 요소를 문제 해결하기 전에 빔 확장기 정렬과 위상 변이기 보정을 다시 확인하십시오.
제품 정보
- 12" 빔 확장기 - 기계적 위상 변이: 12" 기계적 위상 측정용 빔 확장기. Verifire, Verifire HD/HDX 및 Dynafiz와 호환 가능. 멀티플렉서 큐브 포함(4' x 10' x 1' 테이블 필요). 이 확장기는 대구경 간섭계의 기계적 위상 변이를 위해 특별히 설계되었으며, 포함된 멀티플렉서 큐브는 빔 경로를 단순화하지만 크고 안정적인 작업 표면이 필요합니다.

12" 빔 확장기 - 기계적 위상 변이
