シータステージ動作キット
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Category: アクセサリー
- 説明
Nexview アクセサリ - シータステージモーションキット。Nexview XY ステージに取り付けるための回転ステージ、電子機器、ケーブルを提供します。ステージは 360 度の回転を提供します。Mx ソフトウェアは、ウェハのプリアライメントやフリーパターンを含むプログラム済みの動きをサポートします。
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