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Verifire HDXとMST:どちらの干渉計が最適?

Verifire HDXとMST:どちらの干渉計が最適?

By Zygo | Published: 2026-10-15

Category: 比較

Verifire HDXとMSTを、開口数、ズーム、認証の観点で比較します。お客様の工場の試験ニーズと予算に合うZygo干渉計をお選びください。

クイックアンサー

柔軟で高解像度のテストのためにエンコード式ズームとフォーカスを備えた6インチのアパーチャが必要な場合は、Verifire HDXをお選びください。作業が小型光学部品中心で、コンパクトでコスト効率の高い干渉計をお求めの場合は、Verifire MSTをお選びください。どちらが常に優れているというわけではなく、適切な選択は部品サイズ、必要な解像度、認定基準器が必要かどうかによって異なります。

測定に影響する主な違い

最も顕著な違いはアパーチャです。Verifire HDXは6インチのアパーチャを備え、ステッチなしで大型光学部品を1回でテストできます。Verifire MSTは通常アパーチャが小さいため、小型部品に適していますが、大型部品ではステッチが必要になる場合があります。

ズームとフォーカス制御も異なります。HDXにはエンコード式ズームとフォーカスが搭載されており、システムがズームとフォーカスの位置を電子的に報告・再現できます。これは再現性のあるセットアップや自動化されたレシピに役立ちます。MSTは手動調整に依存する場合があり、低量産の作業には問題ありませんが、量産テストでは遅くなります。

認定とトレーサビリティのオプション

品質システムでトレーサブルな校正が必要な場合、ZygoはZYGO認定付きの88nmステップ標準器などの認定基準器を提供しています。このステップ標準器はZYGO認定付きで供給され、ISO 17025認定ラボに関連付けられています。どちらの干渉計モデルの性能検証にも使用できますが、別途購入が必要です。

HDXとMSTはどちらもZygoの干渉計プラットフォームに依存していますが、認定アクセサリやスペアパーツの入手可能性は異なる場合があります。例えば、Verifire USB3カメラアセンブリはスペアパーツであり、適切な取り付けには認定を受けたZygoフィールドサービスエンジニアが必要です。これは、所有計画にサービスアクセスを考慮する必要があることを示しています。

あなたの工場のワークフローに合うモデルはどちらか

大小様々な光学部品をテストする工場では、HDXの6インチのアパーチャとエンコード式ズームが、余裕と自動化に適した機能を提供します。部品が一貫して小さく、量が少ない場合は、MSTで十分であり、より経済的です。

将来のニーズを考慮してください。大型部品の追加やテストの自動化を予定している場合は、HDXのエンコード式軸がセットアップ時間を節約できます。測定値の認定が必要な場合は、認定ステップ標準器を計画し、カメラや主要アセンブリの交換にはZygoフィールドサービスを利用できるようにしてください。

比較の概要

  • アパーチャサイズ: HDX:大型光学部品向けの6インチアパーチャ。MST:コンパクトな部品に適した小型アパーチャ。 数インチを超える部品を定期的にテストする場合、HDXはステッチを回避できます。
  • ズームとフォーカス制御: HDX:再現性とプログラム可能なセットアップのためのエンコード式ズームとフォーカス。MST:手動調整が必要な場合があります。 自動化や高スループットにはHDXを、手動の低量産作業にはMSTを選択してください。
  • 認定とサービス: どちらも88nmステップ標準器などの認定標準器を使用できます。カメラ交換にはZygoフィールドサービスが必要です。 どちらのモデルでも、認定標準器のコストとサービスアクセスを考慮してください。

製品情報

  • 1.064 µm Verifire干渉計、6インチアパーチャ: ZYGO 1.064 μm Verifire干渉計(6インチアパーチャ)は、エンコード式ズームとフォーカス付きで提供されます。エンコード式ズームとフォーカスにより、再現性のあるプログラム可能なセットアップが可能になり、自動化や多品種テストに役立ちます。
  • ZYGO認定付き88nmステップ標準器: ZYGO認定付き88nmステップ標準器は、SKU 6300-0917-01として供給され、ISO 17025認定ラボに関連付けられています。この標準器は干渉計のトレーサブルな検証を提供し、品質監査と校正要件をサポートします。
  • Verifire USB3カメラアセンブリ: Verifire USB3カメラアセンブリは、適切な取り付けに認定を受けたZygoフィールドサービスエンジニアが最低5時間必要です。カメラのアップグレードや交換を計画する際は、ダウンタイムを回避し適切な機能を確保するために、専門的な取り付けの予算を組み込んでください。

適合ガイダンス

最適な用途

  • 最大6インチまでの様々なサイズの部品をテストする工場
  • 再現性のある自動セットアップを必要とする生産環境
  • ステップ標準器によるトレーサブルな認定を必要とするラボ

適さない用途

  • 厳密に小型光学部品のみで自動化のニーズが最小限の工場
  • エンコード式軸が不要で予算が限られている購入者
  • カメラ設置のためのZygoフィールドサービスを利用できない方

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