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Verifire HD vs HDX:どちらの干渉計が適しているか

Verifire HD vs HDX:どちらの干渉計が適しているか

By Zygo | Published: 2026-10-16

Category: 比較

Verifire HDとHDXを解像度、速度、ソフトウェアで比較。購入前に、あなたの工房のニーズと予算に合ったZygo干渉計を見つけてください。

クイックアンサー

急峻な斜面や小さな特徴を測定するために最高の空間分解能が必要な場合は、Verifire HDXを選択してください。より大きなセンサーがより細かい干渉縞の詳細を捉えます。部品の斜面が中程度で、実績がありコスト効率の高い高分解能干渉計をお求めの場合は、Verifire HDを選択してください。両方ともZygoの取得・分析プラットフォームを共有しているため、決定は解像度と予算のどちらを優先するかにかかっています。

Verifire HDとHDXの違いは何ですか?

Verifire HD と HDX はどちらも Zygo 製の高分解能干渉計ですが、センサー解像度と想定される測定範囲が異なります。HDX はより高いピクセル数の検出器を使用して、より密な干渉縞パターンを解像します。これは、非球面、自由曲面、または急峻な局所勾配を持つ光学部品をテストする際に重要です。HD は、標準モデルを上回る性能を持ちながら、より低い解像度のセンサーを低価格で提供します。ここではどちらのモデルの正確なピクセル数も提供されていません。ご購入前に最新の仕様書でその数値をご確認ください。

センサー解像度が測定可能な部品に与える影響

同じ開口部でより多くのピクセルを使用すると、各フリンジがより多くの検出器要素でサンプリングされるため、干渉計はエイリアシングなしでより高密度のフリンジパターンを捕捉できます。これにより、1回の取得で測定できる傾斜範囲が直接拡大します。高い傾斜や微細な中間空間周波数構造を持つ部品を定期的にテストする場合、HDXの追加解像度により、ステッチングやサブアパーチャステッチングの必要性が減ります。より緩やかな光学部品の場合、HDの解像度で十分なことが多く、他の測定ニーズに資本を節約できます。

両モデルのスペアパーツと長期的なサポート

両干渉計はZygoのモジュラーハードウェアに依存しており、一般的な消耗部品はVerifireシリーズ全体で共有されています。例えば、24インチ高分解能ビームエキスパンダー(BEX)は、分解能633nmのすべてのMSTメインフレームと互換性があるため、HDまたはHDXメインフレームのいずれの作業開口も拡張できます。高分解能タレットドライバーボードは、HDおよびDynaFizタレットシステム用に設計されたスペアパーツであり、HDファミリーのタレットベース構成には既知の交換経路があることを意味します。ダウンタイムイベントの前にこれらの部品を特定しておくと、修理サイクルが短縮されます。

ソフトウェア、取得、および振動耐性

HDXには通常、Zygoの最新の取得モードが搭載されており、振動に強いQPSI取得モードにより、アイソレーションテーブルをアップグレードしなくても、理想的な環境でなくても測定できます。HDはファームウェアによって同様のモードを提供する場合がありますが、購入時に正確なソフトウェアバンドルを確認してください。ラボにすでに安定したアイソレーションテーブルがある場合、HDの取得スイートで通常は十分です。生産フロアや振動源の近くで測定する場合は、QPSI搭載のHDXを優先してください。

コストとアップグレードパス

HDXはHDよりも高いリスト価格で、その高度なセンサーとソフトウェアを反映しています。このプレミアムは、解像度によって他の方法では測定できない部品の測定が可能になる場合に正当化されます。現在のワークロードが主に球面や緩い非球面である場合、HDは高い価値を提供し、透過球面や基準平面などのアクセサリー用に予算を残せます。両モデルは同じプラットフォームを共有しているため、HDで開始し、部品構成が変わった場合に後でより高解像度のメインフレームを追加でき、光学系とマウントを再利用できます。

トレードオフの概要

  • 解像度とコストの比較: HDXはより高いピクセル数により、急峻な傾斜や微細な特徴を解像しますが、HDよりもコストがかかります。部品がHDの解像度に挑戦することがほとんどない場合、追加費用が回収できない可能性があります。 部品構成に必要な解像度だけをご購入ください。
  • 耐振動性 vs. 環境: QPSI取得方式のHDXは振動に対する耐性が優れており、高級除振テーブルのコストを節約できます。HDは同等の結果を得るためにより静かな設置環境が必要になる場合があります。 決定する前に、床の振動を測定してください。
  • アップグレードパスと即時の能力: 両モデルともZygoのプラットフォームと24インチBEXなどのアクセサリを共有しているため、HDで始めて後から能力を追加できます。HDXは最初から最大の能力を提供します。 今すぐ最高の解像度が必要ならHDXを選択してください。投資を段階的に行えるなら、HDの方が安全なスタートです。

製品の主要情報

  • 24インチ高解像度ビームエキスパンダー(BEX): 24インチ高解像度ビームエキスパンダー(BEX)は、解像度633nmのすべてのMSTメインフレームと互換性があり、カバー付きエキスパンダーフレーム、デコリメーターマウント、コリメーターマウント、大型フォールドミラー、小型フリップフォールドミラー、アクセサリーレセプタクルが含まれます。Verifire HDまたはHDXメインフレームの有効開口を拡張し、新しい干渉計を購入することなく、より大きな光学部品をテストできます。
  • 高解像度タレットドライバーボード: 高解像度タレットドライバーボードは、HDおよびDynaFizタレットシステム用に設計されたZygoのスペアパーツで、標準SKU、部品コード6450-8171-01で提供されています。タレットベースのHD構成に対する既知の交換経路を提供し、ダウンタイムのリスクを軽減します。

あなたに最適なVerifireはどれですか?

最適な用途

  • 急峻な非球面、自由曲面、または最大の干渉縞解像度を必要とする高傾斜ゾーンを持つ光学部品を測定するショップ向け。
  • 振動のある生産環境では、QPSI取得により新しい除振台の必要性が軽減されます。
  • 利用可能な最高の解像度を求めており、プレミアム干渉計の予算があるラボ向け。

対象外

  • 主に球面または緩い非球面部品を扱い、HDの解像度で十分であり、予算に制約がある工場向け。
  • すでに安定した除振台を所有しており、振動に強い取得を必要としない施設向け。
  • 現在のデータシートからセンサーの正確な仕様を確認できず、購入前に保証された画素数が必要な購入者。

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