Michelson対物レンズとトランスミッションフラットの組み合わせ
By Zygo | Published: 2026-11-02
Category: ヒントとお手入れ
2.75X、0.08NA Michelson対物レンズと33mm Dynaflectトランスミッションフラットを組み合わせるためのステップバイステップの手順。ねじ山とパーフォーカルチェックから、アライメントと取り扱いまでを解説します。
簡単な回答
フラットに触れる前に、対物レンズとマウントを一致させてください。2.75X の 0.08NA マイケルソン対物レンズの M25 ねじと 60mm のパーフォーカル長がお使いのターレットに適合することを確認し、その後で 33mm の Dynaflect 透過フラットを導入し、対物レンズが装着され清浄であることを確認してから位置合わせを行ってください。
2つのアクセサリをこの順序で確認する理由
対物レンズは倍率と開口数を決め、透過フラットは基準面の品質を決めます。対物レンズが正しいパーフォーカル高さに装着されていない場合、その後のフラットの調整はすべて誤った問題を補正することになります。そのため、ねじの適合とパーフォーカル長を先に確認し、フラットの位置合わせはその後に行います。
33mm Dynaflect 平面は、Dynaflect コーティングを施し、1/20 波長、PV で仕様化されています。この表面値が役立つのは、平面が清浄で正しく向いている場合だけです。指紋や傾いたマウントは、1/20 波長の値が問題になるよりはるか前に測定を支配してしまいます。
この組み合わせが不適切な場合
0.08NA 対物レンズは集光量が少なく、高 NA の選択肢ほど細部を積極的に分解しないため、高解像度の検査よりも位置合わせや全体確認の作業に適しています。より厳しい横分解能が必要な作業では、この対物レンズはアップグレードではなく妥協となります。
33mm Dynaflectフラットは、表面仕様を反映した価格のコーティング済みリファレンスアクセサリです。ラフなセットアップやトレーニングには作業用フラットを使用し、本製品は最終的なリファレンス確認用に保管してください。どちらの製品記録にも環境制限や洗浄溶剤の記載がないため、穏やかな乾式取り扱いを超える手順を使用する前にZygoへご確認ください。
ステップごとのペアリング手順
- 取り付け前にねじとパーフォーカル嵌合を確認してください: ターレットまたはマウントが M25 のねじを受け入れること、および 60mm のパーフォーカル長がノーズピース内の他の対物レンズと一致することを確認してください。ねじの噛み合いは必ず手で確認し、決して力を加えないでください。よくある間違い:マウントが M25 だと確認せずに決めつけ、対物レンズのねじをかみ合わせてしまうことです。 対物レンズが手で回し始められない場合は、作業を止めてマウントの仕様を確認してください。
- まず対物レンズを点検して清掃してください: 取り付ける前に、前面と後面を光の下で確認してください。ほこりは柔らかいブロアーで除去し、乾いた表面を拭かないでください。よくある間違い:対物レンズにほこりが付いたまま平面を清掃し、その上にほこりが付着してしまうことです。 対物レンズから外側へ向かって清掃し、その逆は行わないでください。
- 対物レンズを装着し、フォーカス移動範囲を確認します: 対物レンズを最後までしっかりねじ込み、その後、ステージが通常の範囲全体でフォーカスに到達することを確認します。フォーカス移動範囲が不足する場合、このマウントに対してパーフォーカル高さが正しくありません。よくある間違い:対物レンズの装着を修正せず、フラットの傾きで補正してしまうことです。 対物レンズを装着した後も、フォーカス移動範囲は快適に保たれる必要があります。
- 透過部品を平らに置き、向きを確認します: 33mm Dynaflect 平面をホルダーに平らに取り付け、セットアップの要件に従ってコーティング面がビーム経路を向いていることを確認します。そっと挿入し、ホルダーが縁を挟み込んでいないことを確認してください。よくある間違い:保持リングを締めすぎると、光学素子に応力がかかる可能性があります。 平面は固定して保持し、締め付けないでください。
- 低コヒーレンスまたは低減した強度で平面を位置合わせします: 平らな面を少し傾けた状態から始め、縞が見えるまで近づけてから、傾きと位置を微調整します。よくある間違い:小さな調整で足りるのに、マウントを大きく動かして縞を追いかけてしまうことです。 縞が落ち着かない場合は、平らな面を再度動かす前に、対物レンズの装着状態を確認してください。
- 作業位置を記録し、両方の部品をきれいに保管します: 平らな面のマウント位置と対物レンズのタレットスロットを記録しておくと、次回の作業を既知の位置から始められます。カバーを付けた状態で、それぞれのケースに戻してください。よくある間違い:作業と作業の間に平らな面をベンチ上に露出したまま放置することです。 保存した位置により、次回のアライメント作業を効率化できます。
製品仕様
- 2.75X、0.08NA マイケルソン対物レンズ: 倍率 2.75X、0.08NA、M25 ネジ、パーフォーカル長 60mm。ネジとパーフォーカル長の数値により、他の位置を再フォーカスすることなく対物レンズをターレットに装着できるかが決まります。

2.75X、0.08NA マイケルソン対物レンズ - 33 mm Dynaflect トランスミッションフラット: 33 mm Dynaflect トランスミッションフラットは、1/20 波長、PV、Dynaflect コーティング仕様です。1/20 波長での表面形状は、お客様が守るべき基準品質です。そのため、取り扱いとアライメントには価格から想像される以上に注意が必要です。

33 mm Dynaflect トランスミッションフラット

