大口径テスト用ビームエキスパンダーの選び方

クイックアンサー

大口径のテストには、被検光学素子の有効径に適合する出力アパーチャを持ち、測定公差を満たす波面品質を備え、干渉計と互換性のある位相シフト方式を採用したビームエキスパンダを選択してください。

ビームエキスパンダ選択の決定ルール

• ルール1：最大のテスト部品にアパーチャを合わせる： 最大の光学素子の有効径を測定します。出力アパーチャが少なくとも10%大きいビームエキスパンダを選択します。たとえば、最大の部品が16インチの場合、18インチのエキスパンダ（ZYGO 18" モデルなど）で十分なマージンが得られます。 エキスパンダのアパーチャより小さい部品をテストする場合、未使用の容量にコストを費やすことになります。
• ルール2：測定タイプに基づいて波面品質を選択する： 絶対計測（例：参照球面のキャリブレーション）には、λ/10以上を選択します。比較テスト（例：生産ラインの合否判定）には、λ/4で十分なことがよくあります。不明な場合は、エキスパンダの波面仕様を系統誤差の予算項目として使用します。
• ルール3：位相シフトの互換性を確認する： 干渉計がエキスパンダの位相シフト方式をサポートしていることを確認します。機械的位相シフトには、互換性のある駆動インターフェースとソフトウェア制御が必要です。ZYGO 18" ビームエキスパンダは機械的位相シフトを使用します。コントローラがそれを駆動できることを確認してください。 購入前に、干渉計のモデルをメーカーに連絡して互換性を確認してください。

製品の特長

• 18" ビームエキスパンダ-機械的位相シフト: ZYGO 18" ビームエキスパンダ-機械的位相シフト（SKU 6068-0471-12）は、大口径干渉計測用の標準的な機械的位相シフト設計を提供します。このエキスパンダは、最大18インチの光学素子のテスト用に特別に設計されており、機械的位相シフタはZYGO干渉計セットアップに直接統合されます。

  

このアプローチを使用すべきユーザー

最適な用途

• 大口径テスト（≥12インチ）用に干渉計をセットアップする光学エンジニア
• ビームエキスパンダの仕様を測定の不確かさの予算に合わせる必要がある品質ラボ

適さない用途

• 小型の光学素子（6インチ未満）のみをテストし、機械的位相シフトなしで標準的なビームエキスパンダを使用できるユーザー