DynaPhaseを使用した12インチビームエキスパンダーの調整方法
By Zygo | Published: 2026-10-18
Category: ハウツーガイド
DynaPhaseまたは波長シフト測定用の12インチビームエキスパンダーの位置合わせ手順をステップバイステップで学びます。よくある間違いやセットアップのヒントも含まれています。
クイックアンサー
12インチビームエキスパンダーをDynaPhaseで位置合わせするには、エキスパンダーを安定した4' x 10' x 1'のテーブルに取り付け、マックスキューブを接続し、波長シフトまたはDynaPhase測定のための光学的位置合わせ手順に従ってください。
セットアップ要件の理解
DynaPhaseまたは波長シフト用の12インチビームエキスパンダーは、MST、MST+、HD-MST、HDX-MST、およびDynafizシステムで使用するために設計されています。機械的位相シフトをサポートしていないため、位置合わせは機械的な調整ではなく、光路の一貫性に焦点を当てています。
重要な要件はテーブルのサイズです。エキスパンダーとそのマックスキューブには、4' x 10' x 1'の光学テーブルが必要です。十分なスペースがないと、位置合わせが困難になり、測定の安定性が損なわれます。
避けるべきよくある間違い
よくある間違いの1つは、Verifireのような機械的位相システムで波長シフトエキスパンダーを使用しようとすることです。2つのエキスパンダータイプは互換性がありません。機械的位相バージョン(製品ID 1713197)はVerifire、Verifire HD/HDX、およびDynafizで動作しますが、波長シフトバージョン(製品ID 1713198)はMSTベースのシステム用です。
もう1つの間違いは、マックスキューブの取り付けを省略することです。キューブはエキスパンダーに含まれており、ビームを正しく導くために不可欠です。これを省略すると、位置合わせが失敗します。
段階的な位置合わせプロセス
- エキスパンダーをテーブルに取り付ける: 12インチビームエキスパンダーを4' x 10' x 1'の光学テーブルに置きます。位置合わせ中に動かないように、取り付け金具で固定します。 テーブルが水平で振動がないことを確認してから進めてください。
- マックスキューブを取り付ける: 付属のマックスキューブをエキスパンダーの入力ポートに取り付けます。正しく装着され、ビーム経路が妨げられていないことを確認します。 マックスキューブが緩んでいるとビームの位置がずれます。すべてのネジを指で締めてから、さらに4分の1回転締めてください。
- 干渉計に接続する: 適切なケーブルまたは光学ガイドを使用して、マックスキューブをMST、MST+、HD-MST、HDX-MST、またはDynafizシステムに接続します。接続が確実であることを確認します。 エキスパンダーに付属のケーブルのみを使用してください。サードパーティ製のケーブルでは位置合わせが維持されない場合があります。
- 電源を入れ、初期化する: 干渉計とビームエキスパンダーの電源を入れます。レーザーと光学系を安定させるために、システムを少なくとも15分間ウォームアップします。 ウォームアップを省略すると熱ドリフトが発生し、測定値が信頼できなくなります。
- 粗い位置合わせを実行する: エキスパンダーの調整ノブを使用して、ビームをテスト面の中心に合わせます。クリッピングのない均一な円形スポットを探します。 ビームが楕円形または端が暗い場合、エキスパンダーが中心にありません。ノブを少しずつ調整します。
- DynaPhaseソフトウェアで微調整する: DynaPhaseまたは波長シフトソフトウェアを開き、位置合わせツールを使用して干渉縞のコントラストを最適化します。ソフトウェアが良好な信号強度を報告するまで、エキスパンダーのノブを調整します。 目視による位置合わせだけに頼らないでください。ソフトウェアは定量的なフィードバックを提供し、微妙な位置ずれを検出します。
- 測定の安定性を確認する: テスト測定を行い、ドリフトやノイズがないか確認します。測定が安定していれば、位置合わせは完了です。安定していない場合は、手順5と6を繰り返します。 ドリフトが続く場合は、テーブルの安定性を確認し、ビーム経路に空気の流れがないことを確認します。
製品情報
- 12" ビームエキスパンダー - 波長シフト/DynaPhase: 12" ビームエキスパンダー(波長シフトまたはDynaPhase測定用、機械的位相なし)。MST、MST+、HD-MST、HDX-MST、およびDynafizと互換性があります。DynaPhaseまたは波長シフトシステムを使用している場合、これが正しいエキスパンダーです。機械的位相バージョンを使用しても干渉計では動作しません。

12" ビームエキスパンダー - 波長シフト/DynaPhase
