4インチ干渉計に適した減衰フィルターの選び方

簡単な答え

4インチ干渉計には、4インチの減光フィルターを選択し、透過率を約20%、透過波面精度を≤ λ/10とすることで、信号を過度に減衰させることなく良好な干渉縞コントラストを確保します。

減光フィルター選択の判断基準

• 部品の反射率を確認： テスト部品が高反射（例：研磨金属やコーティング光学部品）の場合は、減光フィルターが必要です。拡散面や低反射の場合は、おそらく不要です。
• フィルターサイズを干渉計に合わせる： 4インチ減光フィルターは、4インチの干渉計ビームとのみ使用してください。それより大きいまたは小さいフィルターは適合しないか、ビームをけられ（ビネット）ます。
• 透過率と波面を確認： 標準使用には、透過率が20%に近いフィルターを選択してください。透過波面精度が測定公差を満たしていることを確認します（通常≤ λ/10）。 干渉計の検出器ダイナミックレンジを確認し、減光不足や過剰減光を避けてください。

製品情報

• 4インチ減光フィルター: 4インチ減光フィルターは、透過波面精度≤ λ/10（PVr）、透過率20 ± 4%（入射角10°、波長632.8nm、ペリクル透過時）を備えています。これは、ほとんどの反射部品に対して光を十分に低減しつつ、優れた波面忠実度を維持するため、一般的な干渉計測に信頼性の高い選択肢です。

  

このフィルターは誰向けですか？

最適な用途

• 4インチ干渉計で高反射部品を測定するオペレーター
• 既知の性能仕様を持つ、信頼性の高い既製の減光ソリューションを必要とするユーザー

非推奨の用途

• 4インチ以外のビーム径を持つ干渉計
• 可変減光が必要なアプリケーション（代わりに可変フィルターを検討）