6インチIR干渉計における3.39µmと10.6µmの比較

By Zygo | Published: 2026-10-23

Category: 比較

6インチ赤外線干渉計における3.39 µmと10.6 µmの波長の主な違いを比較し、どのZygo透過平面がお客様の用途に適しているかをご確認ください。

簡単な答え

6インチIR干渉計には、大口径の基準平面が必要で3.39µmに最適化されている場合はZygo 6インチ3.39 µm TFを選び、小型のバヨネットマウント形式で3.39 µmと10.6 µmの2波長に対応したい場合はZygo 2インチIR TFを選んでください。

赤外線干渉計は、可視光では透過しない材料を透過する波長を使用します。3.39 µmと10.6 µmは一般的な選択肢で、それぞれ異なる材料とコーティング要件があります。選択する波長は、光学素子の材料、表面品質仕様、測定可能なサンプルの種類に影響します。

Zygo 6インチ3.39 µm TFは、フル6インチの有効開口を提供し、大型光学部品やコンポーネントのテストに適しています。一方、Zygo 2インチIR TFは、2インチの有効開口と4インチのバヨネットマウントを備え、よりコンパクトで既存のセットアップに統合しやすいものの、視野が制限されます。

開口径： 6インチTF：大型光学部品向けの6インチ有効開口。 2インチIR TF：コンパクトなセットアップ向けの2インチ有効開口と4インチバヨネットマウント。 大型部品をテストする必要がある場合は6インチを選択し、スペースが限られている場合は2インチを選択してください。
波長の柔軟性： 6インチTF：3.39 µm専用に最適化。 2インチIR TF：3.39 µmと10.6 µmの両方で動作。 両方の波長で測定する必要がある場合は、2インチIR TFを選択し、6インチTFは専用の3.39 µm作業に使用してください。
表面品質： 6インチTF：3.39 µmで1/20波PVr（約32 nm）。 2インチIR TF：150 nm PVr。 6インチTFは、要求の厳しい測定において高い面精度を提供し、2インチTFはそれほど重要でない測定に適しています。

6インチ3.39 µm TF: Zygo 6インチ3.39 µm TFは、3.39 µmで1/20波PVrと指定され、ZnS製です。この高い表面品質（1/20波）により、3.39 µmでの大型光学部品の精密測定において正確な参照波面が保証されます。
6インチ3.39 µm TF
2インチIR TF、3.39 µmおよび10.6 µm: Zygo 2インチIR TFは、3.39 µmと10.6 µm向けにARコーティングされたデュアルバンド透過平面で、ZnSe製、表面仕様は150 nm PVrです。デュアルバンドARコーティングにより、光学部品を交換せずに2つの一般的なIR波長を切り替えられますが、150 nm PVrの仕様は、6インチTFの1/20波（約32 nm）よりも厳しくありません。
2インチIR TF、3.39 µmおよび10.6 µm