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Allineamento di un espansore di fascio da 12 pollici con DynaPhase

Allineamento di un espansore di fascio da 12 pollici con DynaPhase

By Zygo | Published: 2026-10-18

Category: Guide pratiche

Scopri il processo passo dopo passo per allineare un espansore di fascio da 12 pollici per misure DynaPhase o di spostamento della lunghezza d'onda, inclusi errori comuni e suggerimenti per la configurazione.

Risposta veloce

Per allineare un espansore di fascio da 12 pollici con DynaPhase, montare l'espansore su un tavolo stabile di 4' x 10' x 1', collegare il cubo mux e seguire la sequenza di allineamento ottico per lo spostamento di lunghezza d'onda o la misurzione DynaPhase.

Comprensione dei requisiti di configurazione

L'espansore di fascio da 12 pollici per DynaPhase o spostamento di lunghezza d'onda è progettato per l'uso con sistemi MST, MST+, HD-MST, HDX-MST e Dynafiz. Non supporta lo spostamento di fase meccanico, quindi l'allineamento si concentra sulla coerenza del percorso ottico piuttosto che su regolazioni meccaniche.

Un requisito fondamentale è la dimensione del tavolo: l'espansore e il suo cubo mux necessitano di un tavolo ottico di 4' x 10' x 1'. Senza spazio sufficiente, l'allineamento diventa difficile e la stabilità della misurazione ne risente.

Errori comuni da evitare

Un errore frequente è tentare di utilizzare l'espansore per spostamento di lunghezza d'onda con un sistema a fase meccanica come Verifire. I due tipi di espansori non sono intercambiabili: la versione a fase meccanica (ID prodotto 1713197) funziona con Verifire, Verifire HD/HDX e Dynafiz, mentre la versione per spostamento di lunghezza d'onda (ID prodotto 1713198) è per sistemi basati su MST.

Un altro errore è saltare l'installazione del cubo mux. Il cubo è incluso con l'espansore ed è essenziale per dirigere correttamente il fascio. Ometterlo porta a un fallimento dell'allineamento.

Procedimento di allineamento passo dopo passo

  1. Montare l'espansore sul tavolo: Posizionare l'espansore di fascio da 12 pollici su un tavolo ottico di 4' x 10' x 1'. Fissarlo con ferramenta di montaggio per evitare movimenti durante l'allineamento. Verificare che il tavolo sia livellato e senza vibrazioni prima di procedere.
  2. Installare il cubo mux: Collegare il cubo mux incluo alla porta d'ingresso dell'espansore. Assicurarsi che sia ben seduto e che il percorso del fascio non sia ostruito. Un cubo mux allentato causa disallineamento del fascio: serrare tutte le viti a mano più un quarto di giro.
  3. Collegare all'interferometro: Utilizzando i cavi o le guide ottiche appropriate, collegare il cubo mux al sistema MST, MST+, HD-MST, HDX-MST o Dynafiz. Verificare che la connessione sia sicura. Utilizzare solo i cavi forniti con l'espansore; cavi di terze parti potrebbero non mantenere l'allineamento.
  4. Accendere e inizializzare: Accendere l'interferometro e l'espansore di fascio. Lasciare riscaldare il sistma per almeno 15 minuti per stabilizzare il laser e l'ottica. Saltare il riscaldamento porta a deriva termica: le misurzioni non saranno affidabili.
  5. Eseguire l'allineamento grossolano: Utilizzando le manopolle di regolazion sull'espansore, centrare il fascio sulla superfice di prova. Cercare una macchia circolare uniforme senza tagli. Se il fascio appare ovale o ha bordi scuri, l'espansore non è centrato: regolare le manopole a piccoli incrementi.
  6. Mettere a punto con il software DynaPhase: Aprire il software DynaPhase o di spostamento di lunghezza d'onda e utilizzare lo strumento di allineamento per ottimizzare il contrasto delle frange. Regolare le manopole dell'espansore fino a quando il software non segnala una buona intensità del segnale. Non affidarsi solo all'allineamento visivo: il software fornisce un feedback quantitativo che coglie disallineamenti sottili.
  7. Verificare la stabilità della misurazione: Eseguire una misurazione di prova e verificare la presenza di deriva o rumore. Se la misurazione è stabile, l'allineamento è completo. In caso contrario, ripetere i passaggi 5 e 6. Se la deriva persiste, controllare la stabilità del tavolo e assicurarsi che non ci siano correnti d'aria che attraversano il percorso del fascio.

Dati del prodotto

  • Espansore di fascio da 12" - Spostamento di lunghezza d'onda / DynaPhase: Espansore di fascio da 12" per misurazione di spostamento di lunghezza d'onda o DynaPhase (senza fase meccanica); compatibile con MST, MST+, HD-MST, HDX-MST e Dynafiz. Se si utilizza un sistema DynaPhase o di spostamento di lunghezza d'onda, questo è l'espansore corretto: utilizzare la versione a fase meccanica non funzionerà con il proprio interferometro.
    12" Beam Expander- Wavelength Shifting/ DynaPhase
    Espansore di fascio da 12" - Spostamento di lunghezza d'onda / DynaPhase

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