Étalon d'étalonnage latéral : son rôle en métrologie
By Zygo | Published: 2026-10-18
Category: Avis produits
Découvrez ce qu'est un étalon d'étalonnage latéral, pourquoi il est important pour une métrologie de précision et comment utiliser l'étalon d'étalonnage latéral Zygo pour vérifier la précision de l'échelle latérale.
Réponse rapide
Un étalon d'étalonnage latéral est un artefact physique aux dimensions connues utilisé pour vérifier la précision des mesures latérales (X-Y) d'un profilomètre optique ou d'un interféromètre. L'étalon d'étalonnage latéral Zygo fournit une référence simple et non certifiée pour les vérifications d'échelle de routine.
Pourquoi l'étalonnage latéral est important
Les mesures latérales — distances et positions dans le plan de l'échantillon — sont tout aussi critiques que les mesures verticales (Z) en métrologie de surface. Sans une référence latérale fiable, même un interféromètre bien aligné peut produire des tailles de caractéristiques trompeuses, des erreurs de pas ou des cartes de surface déformées.
Un étalon d'étalonnage latéral vous fournit un motif connu (comme une règle millimétrique) pour vérifier que la platine XY et le système d'imagerie de votre instrument rapportent les distances correctes. Une utilisation régulière détecte la dérive, le jeu de la platine ou les erreurs de mise à l'échelle des pixels avant qu'ils n'affectent vos données.
Ce que comprend l'étalon d'étalonnage latéral Zygo
L'étalon d'étalonnage latéral Zygo est une lame de microscope basique non certifiée, imprimée avec une règle millimétrique. Il est conçu pour une vérification rapide et quotidienne plutôt que pour un étalonnage formel traçable. Comme il ne possède pas de certificat, il est mieux adapté aux contrôles de cohérence internes et à la formation des opérateurs, et non aux audits nécessitant une traçabilité documentée.
Diagnostic des erreurs de mesure latérale
- Symptôme : Les largeurs ou distances mesurées des caractéristiques ne correspondent pas aux valeurs attendues ; les cartes de surface montrent un étirement ou une compression constant dans une direction.
- Cause probable : Mise à l'échelle des pixels incorrecte, dérive de l'étalonnage de la platine ou erreur de grossissement optique. La chaîne de mesure XY a perdu sa référence.
- Action corrective : Placez l'étalon d'étalonnage latéral Zygo sur la platine, faites la mise au point sur la règle millimétrique et mesurez un intervalle connu (par exemple, 1 mm). Comparez la valeur mesurée à la valeur attendue. Si l'erreur dépasse votre tolérance acceptable, ajustez le facteur d'étalonnage latéral de l'instrument dans MetroPro ou contactez le support Zygo. Enregistrez l'erreur mesurée et la date. Répétez l'opération chaque semaine pour suivre la dérive.
- Quand arrêter ou choisir une autre option : Si votre application nécessite une traçabilité ISO 17025 ou un certificat d'étalonnage documenté, l'étalon d'étalonnage latéral non certifié Zygo n'est pas suffisant. Dans ce cas, utilisez un étalon latéral certifié avec un rapport d'étalonnage traçable. Pour une traçabilité de niveau audit, investissez dans un étalon certifié et conservez le certificat d'étalonnage dans vos dossiers.
Informations sur le produit
- Étalon d'étalonnage latéral: L'étalon d'étalonnage latéral ZYGO est une lame de microscope basique non certifiée, imprimée avec une règle millimétrique. Il fournit une référence simple et reproductible pour vérifier la précision de l'échelle latérale sur les instruments Zygo, mais comme il n'est pas certifié, il ne remplace pas un étalon d'étalonnage formel à des fins de conformité.
Étalon d'étalonnage latéral
