Installer et aligner une table d'isolation antivibratoire Zygo

Réponse rapide

Installez votre table d'isolation des vibrations Zygo sur un sol rigide et de niveau, loin des sources de vibrations, puis mettez la table de niveau et alignez les supports optiques avant de régler finement les isolateurs. Vérifiez la stabilité en mesurant la dérive des franges avec un interféromètre Zygo tel que le Verifire de 1.064 μm avec une ouverture de 6 pouces. Laissez le système se stabiliser pendant 24–48 heures avant les mesures critiques.

Préparez le site et inspectez la table

Choisissez un emplacement sur une dalle de béton, idéalement au niveau du sol ou dans un sous-sol, loin des unités de CVC, des ascenseurs et des zones de passage fréquent. Assurez-vous que le sol est plat et peut supporter la table ainsi que la charge utile. Déballez la table et inspectez-la pour détecter tout dommage dû au transport ; vérifiez que tous les isolateurs, vannes de nivellement et trous de montage sont intacts. Rassemblez les outils : un niveau de précision (0.02 mm/m ou mieux), une clé dynamométrique, des clés hexagonales et un nettoyant compatible avec les salles blanches.

Erreur courante : placer la table sur un plancher en bois surélevé ou près d'une porte. Point de contrôle : le sol doit sembler solide sous les pieds et ne pas transmettre de vibrations lorsque vous marchez à proximité.

Positionnez la table et mettez-la de niveau approximativement

Placez la table à son emplacement définitif, en laissant au moins 60 cm de dégagement sur tous les côtés pour l'accès. Si la table est équipée d'isolateurs amovibles, installez-les conformément aux instructions du fabricant. Utilisez les pieds de mise à niveau ou le réglage de hauteur des isolateurs pour amener le plateau à moins de 0.5 mm/m du niveau. Commencez par les coins et progressez vers le centre pour éviter de tordre le cadre.

Erreur courante : serrer excessivement un coin, ce qui peut déformer la table. Point de contrôle : un niveau de précision placé sur la table dans les directions X et Y doit indiquer une déviation inférieure à une demi-bulle.

Aligner les supports optiques et les composants

Une fois la table de niveau, commencez à monter vos composants optiques. Utilisez la grille de trous taraudés de la table pour positionner les supports, et serrez d'abord les vis à la main. Alignez l'axe optique à l'aide d'un laser ou d'un télescope d'alignement, en ajustant les supports de manière itérative. Pour l'interférométrie, portez une attention particulière à la surface de référence et au dispositif sous test. Si vous utilisez un Zegage ProHR, sa platine XYZ motorisée et son inclinaison/rotation manuelle peuvent simplifier l'alignement fin.

Erreur courante : forcer un support dans un trou mal aligné, ce qui peut endommager les filetages. Point de contrôle : le faisceau doit rester centré sur la cible sur toute la course de la platine.

Ajustement fin de l'isolation des vibrations

Si votre table utilise des isolateurs pneumatiques, ajustez la pression d'air pour amener la table à sa hauteur nominale. La plupart des isolateurs ont une valve de nivellement qui maintient automatiquement la hauteur ; vérifiez que la table revient à niveau après une poussée douce. Pour les systèmes d'isolation actifs, suivez la procédure de démarrage du fabricant. Laissez le système se stabiliser pendant au moins 30 minutes avant de mesurer.

Erreur courante : régler la pression trop haute, ce qui peut faire dériver la table. Point de contrôle : la table doit se stabiliser en quelques secondes après une légère poussée, sans oscillation continue.

Vérifier la stabilité de l'interféromètre

Configurez votre interféromètre et mesurez la stabilité des franges sur 5–10 minutes. Une configuration stable doit montrer une dérive minimale des franges (moins d'une frange par minute pour la plupart des applications). Si la dérive est excessive, vérifiez les courants d'air, les gradients de température ou les vibrations du sol. Utilisez l'interféromètre Verifire 1.064 μm avec une ouverture de 6 pouces pour des mesures haute résolution ; son zoom et sa mise au point codés aident à maintenir l'alignement pendant les tests.

Erreur courante : mesurer immédiatement après l'installation avant l'équilibre thermique. Point de contrôle : répétez la mesure après 24 heures ; la stabilité devrait s'améliorer à mesure que le système se stabilise.

Étapes d'installation et d'alignement

1. Préparation du site : Placez la table sur un sol rigide et de niveau, à l'écart des sources de vibrations. Assurez un dégagement d'au moins 60 cm sur tous les côtés. Point de contrôle : le sol ne doit pas transmettre de vibrations lorsqu'on marche dessus.
2. Mise à niveau approximative : Réglez les isolateurs ou les pieds pour amener la table à un niveau de 0.5 mm/m, en travaillant des coins vers le centre. Point de contrôle : le niveau de précision indique un écart inférieur à une demi-bulle.
3. Alignement optique : Montez et alignez les composants optiques à l'aide de la grille de trous de la table, en commençant par des vis serrées à la main. Point de contrôle : le faisceau reste centré sur toute la course de la platine.
4. Réglage de l'isolateur : Réglez la pression d'air ou les paramètres d'isolation active pour que la table revienne à niveau après une légère poussée. Point de contrôle : la table se stabilise en quelques secondes sans oscillation.
5. Vérification de la stabilité : Mesurez la dérive des franges avec un interféromètre sur 5–10 minutes ; répétez après 24 heures. Point de contrôle : dérive inférieure à une frange par minute pour la plupart des applications.

Caractéristiques du produit

• Interféromètre Verifire 1.064 µm avec ouverture de 6 pouces: Interféromètre Verifire 1.064 µm avec ouverture de 6 pouces, zoom et mise au point codés, SKU SSR VF-1064-6-1. Fournit une référence de mesure stable et haute résolution pour vérifier les performances d'isolation de la table.
• Zegage ProHR: Le Zegage ProHR comprend une platine XYZ motorisée (100 × 100 mm), une inclinaison manuelle (±4°), des objectifs 10x et 50x, ainsi qu'un nouveau contrôleur système avec les logiciels Win 11 et Mx. Sa platine motorisée et son inclinaison simplifient l'alignement précis des échantillons sur la table d'isolation.
• Étalon de marche de 88 nm avec certification ZYGO: Étalon de marche de 88 nm avec certification ZYGO, SKU 6300-0917-01, provenant d'un laboratoire certifié ISO 17025. Peut être utilisé comme artefact de référence pour vérifier l'étalonnage du système après l'installation et l'alignement.