Guide de configuration du déphaseur mécanique pour expanseur de faisceau 12"
By Zygo | Published: 2026-10-24
Category: Guides pratiques
Instructions étape par étape pour configurer un expanseur de faisceau de 12 pouces avec décalage de phase mécanique sur un interféromètre à grande ouverture, incluant des conseils d'alignement et les erreurs courantes.
Réponse rapide
Configurez votre expanseur de faisceau 12" pour le déphasage mécanique en fixant l'expanseur sur une table stable, en alignant le cube multiplexeur et en calibrant le déphaseur sur le faisceau de référence de l'interféromètre.
Pourquoi la précision du réglage est cruciale pour le déphasage mécanique
Le déphasage mécanique repose sur un mouvement précis et reproductible de la surface de référence. Un expanseur de faisceau mal aligné introduit des erreurs de front d'onde qui dégradent la précision des mesures, en particulier avec de grandes ouvertures. L'expanseur de faisceau 12" nécessite une table stable de 4' x 10' x 1' pour supporter sa taille et le cube multiplexeur.
Contrairement au déphasage dynamique, le déphasage mécanique utilise une platine physique pour déplacer la référence. Cela signifie que toute vibration ou inclinaison du support de l'expanseur affecte directement les pas de phase. Prendre le temps de niveler et de sécuriser les composants se traduit par des interférogrammes plus nets.
Processus de configuration étape par étape
- Préparez la table optique : Dégagez une zone de table de 4' x 10' x 1'. Assurez-vous que la surface est de niveau et exempte de sources de vibrations. Montez solidement la plaque de base de l'expanseur de faisceau en utilisant le motif de boulons fourni. Erreur courante : utiliser une table plus petite. Le cube multiplexeur et l'expanseur ont besoin de toute la surface pour éviter les contraintes sur les câbles et le désalignement.
- Installez le cube multiplexeur : Fixez le cube multiplexeur au port d'entrée de l'expanseur. Alignez le cube de sorte que le faisceau de l'interféromètre entre à l'angle correct (généralement 45 degrés). Serrez les vis de blocage uniformément. Vérifiez que la face de sortie du cube est parallèle à l'axe de l'expanseur ; une inclinaison ici faussera tout l'alignement en aval.
- Connectez l'interféromètre : Positionnez l'interféromètre (Verifire, Verifire HD/HDX ou Dynafiz) de sorte que son faisceau de sortie entre dans le cube multiplexeur. Utilisez le laser d'alignement intégré de l'interféromètre pour centrer le faisceau sur l'ouverture d'entrée du cube. Si le faisceau est décentré, l'expanseur écrêtera le front d'onde, provoquant des artefacts de diffraction. Ajustez la hauteur et l'inclinaison de l'interféromètre jusqu'à ce que le point laser soit centré.
- Alignez le déphaseur mécanique : Fixez la platine de déphasage au support du plan de référence. Connectez le contrôleur de la platine à la sortie de déclenchement de déphasage de l'interféromètre. Effectuez un test de course courte (par exemple, 5 pas) pour vérifier un mouvement fluide et reproductible. Une platine qui colle ou est irrégulière produira des erreurs de pas de phase. Écoutez le bruit mécanique et surveillez un mouvement non uniforme des franges pendant le test.
- Calibrez le déphasage : Utilisez la routine de calibration du logiciel de l'interféromètre pour mesurer la taille réelle du pas de phase. Ajustez la tension d'entraînement de la platine ou le nombre de pas jusqu'à ce que le pas mesuré corresponde à la valeur prévue (par exemple, 90 degrés par pas pour un algorithme à 4 seaux). Ne sautez pas cette étape : les platines mécaniques dérivent avec la température. Recalibrez si la température du laboratoire change de plus de 2°C.
- Effectuez une mesure de vérification : Placez un plan de référence calibré dans le faisceau de test. Effectuez une mesure complète de déphasage et comparez le résultat à la figure de surface connue. L'écart quadratique moyen (RMS) doit se situer dans la répétabilité spécifiée de l'interféromètre. Si l'écart est important, revérifiez l'alignement de l'expanseur de faisceau et l'étalonnage du déphaseur avant de dépanner d'autres composants.
Informations produit
- Expanseur de faisceau 12" - Déphasage mécanique: Expanseur de faisceau 12" pour la mesure de phase mécanique. Compatible avec Verifire, Verifire HD/HDX et Dynafiz. Comprend un cube multiplexeur (nécessite une table de 4' x 10' x 1'). Cet expanseur est spécialement conçu pour le déphasage mécanique sur les interféromètres à grande ouverture, et le cube multiplexeur inclus simplifie le routage du faisceau, mais exige une surface de travail grande et stable.

Expanseur de faisceau 12" - Déphasage mécanique
