Guía de configuración de cambio de fase mecánico para expansor de haz de 12"
By Zygo | Published: 2026-10-24
Category: Guías prácticas
Instrucciones paso a paso para configurar un expansor de haz de 12 pulgadas con desplazamiento de fase mecánico en un interferómetro de gran apertura, incluyendo consejos de alineación y errores comunes.
Respuesta rápida
Configure su expansor de haz de 12" para el desplazamiento de fase mecánico fijando el expansor en una mesa estable, alineando el cubo mux y calibrando el desplazador de fase con el haz de referencia del interferómetro.
Por qué es importante la precisión en la configuración para el desplazamiento de fase mecánico
El desplazamiento de fase mecánico depende del movimiento preciso y repetible de la superficie de referencia. Un expansor de haz desalineado introduce errores en el frente de onda que degradan la precisión de la medición, especialmente con aperturas grandes. El expansor de haz de 12" requiere una mesa estable de 4' x 10' x 1' para soportar su tamaño y el cubo mux.
A diferencia del desplazamiento de fase dinámico, el desplazamiento de fase mecánico utiliza una etapa física para mover la referencia. Esto significa que cualquier vibración o inclinación en el soporte del expansor afecta directamente los pasos de fase. Dedicar tiempo a nivelar y asegurar los componentes se traduce en interferogramas más limpios.
Proceso de configuración paso a paso
- Prepare la mesa óptica: Despeje un área de mesa de 4' x 10' x 1'. Asegúrese de que la superficie esté nivelada y libre de fuentes de vibración. Monte la placa base del expansor de haz de forma segura utilizando el patrón de pernos proporcionado. Error común: usar una mesa más pequeña. El cubo mux y el expansor necesitan el espacio completo para evitar tensión en los cables y desalineación.
- Instale el cubo mux: Conecte el cubo mux al puerto de entrada del expansor. Alinee el cubo para que el haz del interferómetro entre en el ángulo correcto (normalmente 45 grados). Apriete los tornillos de fijación de manera uniforme. Verifique que la cara de salida del cubo esté paralela al eje del expansor; una inclinación aquí sesgará toda la alineación posterior.
- Conecte el interferómetro: Coloque el interferómetro (Verifire, Verifire HD/HDX o Dynafiz) de modo que su haz de salida entre en el cubo mux. Utilice el láser de alineación integrado del interferómetro para centrar el haz en la apertura de entrada del cubo. Si el haz está descentrado, el expansor recortará el frente de onda, causando artefactos de difracción. Ajuste la altura y la inclinación del interferómetro hasta que el punto láser esté centrado.
- Alinee el desplazador de fase mecánico: Conecte la etapa de desplazamiento de fase al soporte del plano de referencia. Conecte el controlador de la etapa a la salida de disparo de desplazamiento de fase del interferómetro. Realice una prueba de carrera corta (por ejemplo, 5 pasos) para verificar un movimiento suave y repetible. Una etapa que se pegue o sea irregular producirá errores en los pasos de fase. Escuche el ruido mecánico y observe el movimiento no uniforme de las franjas durante la prueba.
- Calibre el desplazamiento de fase: Utilice la rutina de calibración del software del interferómetro para medir el tamaño real del paso de fase. Ajuste el voltaje de accionamiento de la etapa o el número de pasos hasta que el paso medido coincida con el valor previsto (por ejemplo, 90 grados por paso para un algoritmo de 4 cubos). No omita este paso: las etapas mecánicas se desvían con la temperatura. Vuelva a calibrar si la temperatura del laboratorio cambia más de 2°C.
- Realice una medición de verificación: Coloque un plano de referencia calibrado en el haz de prueba. Ejecute una medición completa de desplazamiento de fase y compare el resultado con la figura de superficie conocida. La desviación RMS debe estar dentro de la repetibilidad especificada del interferómetro. Si la desviación es grande, vuelva a verificar la alineación del expansor de haz y la calibración del desplazador de fase antes de solucionar otros componentes.
Datos del producto
- Expansor de haz de 12" - Desplazamiento de fase mecánico: Expansor de haz de 12" para medición de fase mecánica. Compatible con Verifire, Verifire HD/HDX y Dynafiz. Incluye cubo mux (requiere mesa de 4' x 10' x 1'). Este expansor está diseñado específicamente para el desplazamiento de fase mecánico en interferómetros de gran apertura, y el cubo mux incluido simplifica el enrutamiento del haz, pero requiere una superficie de trabajo grande y estable.

Expansor de haz de 12" - Desplazamiento de fase mecánico
