Ausrichtung eines 12-Zoll-Strahlaufweiters mit DynaPhase
By Zygo | Published: 2026-10-18
Category: Anleitungen
Erfahren Sie Schritt für Schritt, wie Sie einen 12 Zoll Strahlaufweiter für DynaPhase- oder Wellenlängenverschiebungsmessungen ausrichten, einschließlich häufiger Fehler und Einrichtungstipps.
Kurze Antwort
Um einen 12 Zoll Strahlaufweiter mit DynaPhase auszurichten, montieren Sie den Aufweiter auf einem stabilen Tisch mit den Maßen 4 × 10 × 1 Fuß, schließen Sie den Mux-Würfel an und befolgen Sie die optische Ausrichtungssequenz für Wellenlängenverschiebung oder DynaPhase-Messung.
Verständnis der Einrichtungsanforderungen
Der 12 Zoll Strahlaufweiter für DynaPhase oder Wellenlängenverschiebung ist für den Einsatz mit MST-, MST+-, HD-MST-, HDX-MST- und Dynafiz-Systemen ausgelegt. Er unterstützt keine mechanische Phasenverschiebung, daher konzentriert sich die Ausrichtung auf die optische Pfadkonsistenz anstelle mechanischer Anpassungen.
Eine kritische Anforderung ist die Tischgröße: Der Aufweiter und sein Mux-Würfel benötigen einen optischen Tisch mit den Maßen 4 × 10 × 1 Fuß. Ohne ausreichend Platz wird die Ausrichtung schwierig und die Messstabilität leidet.
Häufige Fehler, die vermieden werden sollten
Ein häufiger Fehler ist der Versuch, den Strahlaufweiter für Wellenlängenverschiebung mit einem mechanischen Phasensystem wie Verifire zu verwenden. Die beiden Aufweitertypen sind nicht austauschbar – die mechanische Phasenversion (Produkt-ID 1713197) funktioniert mit Verifire, Verifire HD/HDX und Dynafiz, während die Wellenlängenverschiebungsversion (Produkt-ID 1713198) für MST-basierte Systeme vorgesehen ist.
Ein weiterer Fehler ist das Überspringen der Mux-Würfel-Installation. Der Würfel ist im Lieferumfang des Aufweiters enthalten und für die korrekte Strahlführung unerlässlich. Das Weglassen führt zu Ausrichtungsfehlern.
Schritt-für-Schritt-Ausrichtungsprozess
- Montieren Sie den Aufweiter auf dem Tisch: Platzieren Sie den 12 Zoll Strahlaufweiter auf einem optischen Tisch mit den Maßen 4 × 10 × 1 Fuß. Befestigen Sie ihn mit Montagehalterungen, um Bewegungen während der Ausrichtung zu verhindern. Stellen Sie sicher, dass der Tisch eben und vibrationsfrei ist, bevor Sie fortfahren.
- Installieren Sie den Mux-Würfel: Schließen Sie den mitgelieferten Mux-Würfel an den Eingangsport des Aufweiters an. Stellen Sie sicher, dass er richtig sitzt und der Strahlengang nicht blockiert ist. Ein lockerer Mux-Würfel verursacht Strahlfehlausrichtung – ziehen Sie alle Schrauben handfest plus eine Vierteldrehung an.
- Anschluss an das Interferometer: Verbinden Sie den Mux-Würfel mit den entsprechenden Kabeln oder optischen Führungen mit Ihrem MST-, MST+-, HD-MST-, HDX-MST- oder Dynafiz-System. Überprüfen Sie, ob die Verbindung sicher ist. Verwenden Sie nur die mit dem Aufweiter gelieferten Kabel; Kabel von Drittanbietern können die Ausrichtung beeinträchtigen.
- Einschalten und Initialisieren: Schalten Sie das Interferometer und den Strahlaufweiter ein. Lassen Sie das System mindestens 15 Minuten aufwärmen, um den Laser und die Optik zu stabilisieren. Das Überspringen der Aufwärmphase führt zu thermischer Drift – Messungen werden unzuverlässig.
- Grobe Ausrichtung durchführen: Zentrieren Sie den Strahl mit den Einstellknöpfen am Aufweiter auf der Testoberfläche. Achten Sie auf einen gleichmäßigen runden Fleck ohne Abschattungen. Wenn der Strahl oval erscheint oder dunkle Ränder aufweist, ist der Aufweiter nicht zentriert – stellen Sie die Knöpfe in kleinen Schritten ein.
- Feinabstimmung mit der DynaPhase-Software: Öffnen Sie die DynaPhase- oder Wellenlängenverschiebungssoftware und verwenden Sie das Ausrichtungswerkzeug, um den Streifenkontrast zu optimieren. Stellen Sie die Knöpfe des Aufweiters ein, bis die Software eine gute Signalstärke meldet. Verlassen Sie sich nicht nur auf die visuelle Ausrichtung – die Software liefert quantitative Rückmeldungen, die subtile Fehlausrichtungen erkennt.
- Überprüfen der Messstabilität: Führen Sie eine Testmessung durch und prüfen Sie auf Drift oder Rauschen. Wenn die Messung stabil ist, ist die Ausrichtung abgeschlossen. Wenn nicht, wiederholen Sie die Schritte 5 und 6. Wenn die Drift anhält, überprüfen Sie die Tischstabilität und stellen Sie sicher, dass keine Luftströmungen durch den Strahlengang verlaufen.
Produktfakten
- 12 Zoll Strahlaufweiter – Wellenlängenverschiebung / DynaPhase: 12 Zoll Strahlaufweiter für Wellenlängenverschiebung oder DynaPhase-Messung (ohne mechanische Phase); kompatibel mit MST, MST+, HD-MST, HDX-MST und Dynafiz. Wenn Sie ein DynaPhase- oder Wellenlängenverschiebungssystem verwenden, ist dies der richtige Aufweiter – die Verwendung der mechanischen Phasenversion funktioniert nicht mit Ihrem Interferometer.

12 Zoll Strahlaufweiter – Wellenlängenverschiebung / DynaPhase
