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12" Strahlaufweiter – Mechanische Phasenverschiebung: Einrichtungsanleitung

12" Strahlaufweiter – Mechanische Phasenverschiebung: Einrichtungsanleitung

By Zygo | Published: 2026-10-24

Category: Anleitungen

Schritt-für-Schritt-Anleitung zum Einbau eines 12-Zoll Strahlaufweiters mit mechanischer Phasenverschiebung in ein Großapertur-Interferometer, einschließlich Ausrichtungstipps und häufiger Fehler.

Kurze Antwort

Richten Sie Ihren 12" Strahlaufweiter für die mechanische Phasenverschiebung ein, indem Sie den Aufweiter auf einem stabilen Tisch befestigen, den Mux-Würfel ausrichten und den Phasenschieber am Referenzstrahl des Interferometers kalibrieren.

Warum die Präzision des Aufbaus für die mechanische Phasenverschiebung wichtig ist

Die mechanische Phasenverschiebung beruht auf einer präzisen, wiederholbaren Bewegung der Referenzfläche. Ein falsch ausgerichteter Strahlaufweiter führt zu Wellenfrontfehlern, die die Messgenauigkeit beeinträchtigen, insbesondere bei großen Aperturen. Der 12" Strahlaufweiter benötigt einen stabilen Tisch mit den Maßen 4' x 10' x 1', um seine Größe und den Mux-Würfel zu tragen.

Im Gegensatz zur dynamischen Phasenverschiebung verwendet die mechanische Phasenverschiebung eine physische Stufe, um das Referenzobjekt zu bewegen. Das bedeutet, dass Vibrationen oder Verkippungen in der Halterung des Aufweiters die Phasenschritte direkt beeinflussen. Wenn Sie sich die Zeit nehmen, die Komponenten auszurichten und zu sichern, erhalten Sie sauberere Interferogramme.

Schritt-für-Schritt-Aufbau

  1. Bereiten Sie den optischen Tisch vor: Bereiten Sie eine Tischfläche von 4' x 10' x 1' vor. Stellen Sie sicher, dass die Oberfläche eben und frei von Vibrationsquellen ist. Montieren Sie die Grundplatte des Strahlaufweiters sicher mit dem mitgelieferten Bolzenmuster. Häufiger Fehler: Verwendung eines kleineren Tisches. Der Mux-Würfel und der Aufweiter benötigen die gesamte Stellfläche, um Kabelbelastungen und Fehlausrichtungen zu vermeiden.
  2. Installieren Sie den Mux-Würfel: Befestigen Sie den Mux-Würfel am Eingangsport des Aufweiters. Richten Sie den Würfel so aus, dass der Strahl vom Interferometer im richtigen Winkel (typischerweise 45 Grad) eintritt. Ziehen Sie die Feststellschrauben gleichmäßig an. Überprüfen Sie, ob die Ausgangsfläche des Würfels parallel zur Aufweiterachse ist; eine Verkippung hier würde die gesamte nachgeschaltete Ausrichtung beeinträchtigen.
  3. Schließen Sie das Interferometer an: Positionieren Sie das Interferometer (Verifire, Verifire HD/HDX oder Dynafiz) so, dass sein Ausgangsstrahl in den Mux-Würfel eintritt. Verwenden Sie den integrierten Ausrichtungslaser des Interferometers, um den Strahl auf der Eingangsöffnung des Würfels zu zentrieren. Wenn der Strahl außermittig ist, wird der Aufweiter die Wellenfront abschneiden, was Beugungsartefakte verursacht. Passen Sie Höhe und Neigung des Interferometers an, bis der Laserpunkt zentriert ist.
  4. Richten Sie den mechanischen Phasenschieber aus: Befestigen Sie die Phasenverschiebungsstufe an der Halterung des Referenzplanspiegels. Verbinden Sie die Stufensteuerung mit dem Phasenverschiebungs-Triggerausgang des Interferometers. Führen Sie einen Kurzhubtest (z. B. 5 Schritte) durch, um eine gleichmäßige, wiederholbare Bewegung zu überprüfen. Eine klemmende oder unebene Stufe führt zu Phasenschrittfehlern. Achten Sie während des Tests auf mechanische Geräusche und beobachten Sie die ungleichmäßige Streifenbewegung.
  5. Kalibrieren Sie die Phasenverschiebung: Verwenden Sie die Kalibrierungsroutine der Interferometer-Software, um die tatsächliche Phasenschrittgröße zu messen. Passen Sie die Stufenantriebsspannung oder die Schrittanzahl an, bis der gemessene Schritt dem gewünschten Wert entspricht (z. B. 90 Grad pro Schritt für einen 4-Bucket-Algorithmus). Überspringen Sie diesen Schritt nicht: Mechanische Stufen driften mit der Temperatur. Kalibrieren Sie neu, wenn die Labortemperatur um mehr als 2°C schwankt.
  6. Führen Sie eine Verifizierungsmessung durch: Platzieren Sie einen kalibrierten Referenzplanspiegel im Teststrahl. Führen Sie eine vollständige Phasenverschiebungsmessung durch und vergleichen Sie das Ergebnis mit der bekannten Oberflächenform. Die RMS-Abweichung sollte innerhalb der angegebenen Wiederholbarkeit des Interferometers liegen. Wenn die Abweichung groß ist, überprüfen Sie erneut die Ausrichtung des Strahlaufweiters und die Kalibrierung des Phasenschiebers, bevor Sie andere Komponenten untersuchen.

Produktdaten

  • 12" Strahlaufweiter – Mechanische Phasenverschiebung: 12" Strahlaufweiter für mechanische Phasenmessung. Kompatibel mit Verifire, Verifire HD/HDX und Dynafiz. Inklusive Mux-Würfel (erfordert Tisch mit Maßen 4' x 10' x 1'). Dieser Aufweiter wurde speziell für die mechanische Phasenverschiebung an Interferometern mit großer Apertur entwickelt; der mitgelieferte Mux-Würfel vereinfacht die Strahlführung, erfordert jedoch eine große, stabile Arbeitsfläche.
    12" Beam Expander- Mechanical Phase Shifting
    12" Strahlaufweiter – Mechanische Phasenverschiebung

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