لماذا تتغير قراءات مقياس المظهر البصري وكيفية إصلاحها

إجابة سريعة

معظم انجراف أجهزة قياس التضاريس البصرية يكون بسبب البيئة أو الإعداد، وليس عطلًا في الجهاز. ابدأ بفحص الاهتزاز ودرجة الحرارة واستقرار العينة قبل لمس المعايرة. إذا استمرت القراءات في الانجراف بعد التحكم في هذه العوامل، أعد المعايرة باستخدام معيار خطوات معتمد وتحقق من حركة المنضدة.

فحص الأعراض: هل هو انجراف أم انزياح لمرة واحدة؟

الانجراف يعني أن القراءات تتغير بمرور الوقت دون تغيير مقصود في العينة أو الإعداد. الانزياح لمرة واحدة يبقى ثابتًا عبر القياسات المتكررة. قبل تعديل أي شيء، قم بقياس نفس العينة المستقرة ثلاث مرات على مدى 10 دقيقة. إذا كانت القيم تتغير، فلديك انجراف. إذا كانت منحرفة باستمرار بنفس المقدار، فلديك انزياح يمكن للمعايرة معالجته.

السبب المحتمل 1: الاهتزاز والضوضاء الصوتية

أجهزة قياس التضاريس البصرية هي أدوات تداخل ضوئي. اهتزاز الأرضية أو المضخات القريبة أو حتى أنظمة التدفئة والتهوية وتكييف الهواء الصاخبة يمكن أن تحرك أهداب التداخل وتجعل قراءات الارتفاع تنحرف. هذه واحدة من أكثر مشاكل اهتزاز أجهزة القياس شيوعًا. انقل النظام إلى مكان أكثر هدوءًا أو أضف طاولة عزل. إذا كان لديك بالفعل عزل، تحقق من تسويته وأن العوازل منفوخة بشكل صحيح.

السبب المحتمل 2: تغيرات حرارية في الغرفة أو العينة

تغير درجة حرارة الغرفة بمقدار 1 درجة مئوية يمكن أن يحرك الأجزاء المعدنية بما يكفي ليُسجل كانجراف على جهاز قياس عالي الدقة. اترك الجهاز والعينة يستقران لمدة ساعة على الأقل بعد أي تغير في درجة الحرارة. تجنب وضع الجهاز بالقرب من النوافذ أو المداخل أو المعدات التي تعمل وتتوقف. للقياسات الحرجة، سجل درجة حرارة الغرفة مع بياناتك.

السبب المحتمل 3: حركة المنضدة أو تثبيت غير محكم

إذا ظهر الانجراف فقط عند تحريك المنضدة، فالمشكلة ميكانيكية. تحقق من أن العينة مثبتة بإحكام وأن المنضدة لا تتعطل. على الأنظمة ذات المحاور الآلية، يمكن أن تسبب المنضدة البالية أو غير المحاذاة انجرافًا متكررًا في اتجاه واحد. توفر مجموعة حركة المحور 1 من NewView حركة Z آلية مع ضبط يدوي XYRP، لذا إذا كان إعدادك يستخدم XY يدويًا، تحقق من إحكام تلك الأقفال قبل إلقاء اللوم على الإلكترونيات.

إجراء تصحيحي: أعد المعايرة بمعيار معتمد

عند استبعاد البيئة والتثبيت، أعد المعايرة باستخدام معيار خطوات معتمد. يتم توفير معيار الخطوات 88 نانومتر مع شهادة ZYGO كرقم SKU 6300-0917-01 ويرتبط بمختبر معتمد ISO 17025، مما يعني أن قيمته المبلغ عنها قابلة للتتبع. اتبع إجراء المعايرة الخاص بنظامك وقارن ارتفاع الخطوة المقاس بالقيمة المعتمدة. إذا كان الخطأ ضمن تفاوت العملية الخاص بك، فأنت انتهيت.

متى تتوقف وتتصل بالدعم الفني

توقف عن التعديل واتصل بخدمة Zygo إذا استمر الانجراف بعد التحكم في الاهتزاز ودرجة الحرارة والتثبيت، وبعد معايرة ناجحة بمعيار معتمد. توقف أيضًا إذا رأيت قفزات مفاجئة أكبر من عدم اليقين في المعايرة، أو إذا أبلغ الجهاز عن أخطاء في الأجهزة. إعادة المعايرة المتكررة لنظام منجرف يمكن أن تخفي مكونًا معطلاً وتضيع الوقت.

مخطط تشخيص الانجراف

• الأعراض: القراءات تتغير على مدى دقائق: تحقق من الاهتزاز والتغيرات الحرارية أولاً. قم بقياس نفس العينة ثلاث مرات على مدى 10 دقيقة لتأكيد الانجراف. إذا كانت مستقرة، فالمشكلة انزياح وليست انجرافًا.
• الأعراض: انجراف فقط عند تحريك المنضدة: افحص تثبيت العينة وأقفال المنضدة. على أنظمة NewView 8000/9000، تحقق من أن تعديلات Z وXYRP لمجموعة الحركة لا تنزلق. إذا كانت المنضدة محكمة، فالمشكلة على الأرجح بيئية.
• الأعراض: استمرار الانجراف بعد التحكم في البيئة والتثبيت: أعد المعايرة بمعيار خطوات معتمد مثل معيار الخطوات 88 نانومتر مع شهادة ZYGO. قارن القيمة المقاسة بالقيمة المعتمدة. إذا استمر الانجراف بعد معايرة صحيحة، توقف واتصل بخدمة Zygo.

حقائق المنتج المهمة لتشخيص الانجراف

• معيار الخطوات 88 نانومتر مع شهادة ZYGO: يتم توفير معيار الخطوات 88 نانومتر مع شهادة ZYGO كرقم SKU 6300-0917-01 في التكوين القياسي ويرتبط بمختبر معتمد ISO 17025. يتيح لك معيار الخطوات القابل للتتبع فصل الانجراف الحقيقي عن انزياح المعايرة ويعطيك مرجعًا يمكن الدفاع عنه عند استكشاف الأخطاء وإصلاحها.
• مجموعة حركة المحور 1 من NewView: مجموعة حركة المحور 1 من NewView هي ملحق ZYGO لمنصة NewView 8000/9000. توفر محورًا واحدًا للحركة مع Z آلي وضبط يدوي XYRP. إذا ظهر الانجراف فقط أثناء حركات المنضدة، فإن Z الآلي وضبط XYRP اليدوي لهذه المجموعة يساعدانك في عزل ما إذا كانت المشكلة في نظام الحركة أو البصريات.